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7 纳米芯片的核心设备 ASML高端光刻机已入厂

武汉弘芯“烂尾”风险 ， 百亿半导体投资项目知易行难武汉千亿芯片项目停摆 ， 成立不到三年陷“烂尾”风险 。 据武汉东西湖区政府于 7 月 30 日发布的《上半年东西湖区投资建设领域经济运行分析》文件(现已删除)披露 ， 投资千亿的武汉弘芯项目运行近三年后 ， 因存在较大资金缺口 ， 随时面临资金链断裂风险 。 弘芯半导体项目目前基本停滞 ， 剩余 1123 亿元投资难以在今年申报 。目前 ， 该报告文件已经在官网删除 。报告节选：我区（武汉东湖区）投资领域面临的挑战比疫情期间小了很多 ， 但随着疫情的全球爆发 ， 在全球市场信心不足的大环境下 ， 我区投资领域依然困难重重 。（一）项目投资主体资金不足 。1、武汉弘芯半导体制造项目为我区重大项目 ， 目前 ， 该项目一期主要生产厂房、研发大楼（总建筑面积 39 万 m2）均已封顶或完成 。 一期生产线 300 余台套设备均在有序订购 ， 陆续进厂 。 国内唯一能生产 7 纳米芯片的核心设备 ASML 高端光刻机已入厂 。 但项目存在较大资金缺口 ， 随时面临资金链断裂导致项目停滞的风险 。 二期用地一直未完成土地调规和出让 。 因项目缺少土地、环评等支撑资料 ， 无法上报国家发改委窗口指导 ， 导致国家半导体大基金、其他股权基金无法导入 。2、1-6 月 ， 全区房地产企业本年实际到位资金 100.98 亿元 ， ……7 纳米芯片的核心设备 ASML高端光刻机已入厂
这是武汉官方首次提及弘芯面临的危机 ， 但从 2019 年底因诉讼造成土地冻结之后 ， 业内关于武汉弘芯难以为继的猜测早已此起彼伏 。 首先是去年接任武汉弘芯半导体 CEO 一职的前台积电共同 COO 蒋尚义 ， 当时一度传出他有倦勤之意 ， 可能退出该团队 ， 那时外界分析武汉弘芯项目恐有变 。武汉弘芯半导体制造有限公司于 2017 年 11 月成立 ， 总部位于中国武汉临空港经济技术开发区 。 公司总经理兼首席执行官蒋尚义系在台积电任职 10 多年并曾担任 CTO ， 也是创始人张忠谋最为重视的研发人物之一 。然而 ， 弘芯仍然在“武汉市重大专案”中 ， 被武汉市政府视为当地发展半导体产业的重大项目 。官网消息显示 ， 公司汇聚了来自全球半导体晶圆研发与制造领域的专家团队 ， 拥有丰富的 14 纳米及 7 纳米以下节点 FinFET 先进逻辑工艺与晶圆级先进封装技术经验 。武汉弘芯项目总投资额约 200 亿美元 。 主要投资项目为：一、预计建成 14 纳米逻辑工艺生产线 ， 总产能达每月 30,000 片;二、预计建成 7 纳米以下逻辑工艺生产线 ， 总产能达每月 30,000 片;三、预计建成晶圆级先进封装生产线 。弘芯半导体制造产业园曾是 2018 年武汉单个最大投资项目 。 该半导体项目在武汉市 2020 年市级重大在建项目计划中位居第一 ， 总投资额第一 。根据武汉市发改委发布的《武汉市 2020 年市级重大专案计划》 ， 武汉弘芯半导体制造专案在先进制造专案中排名第一位 。虽然成立仅三年 ， 武汉弘芯也是麻烦不断 。 由于项目一期工程总承包商拖欠分包商 4100 万工程款 ， 2019 年 11 月 ， 湖北省武汉市中级人民法院一纸民事裁定书 ， 查封武汉弘芯半导体制造有限公司 300 多亩土地使用权 ， 查封期限三年并立即执行 。 项目总规划用地面积 636 亩 ， 此次被查封土地面积超过一半 。武汉弘芯一期项目的计划总投资额 520 亿元 ， 为何会出现这种情况 ， 对此官方声明回应称 ， 公司按期足额支付总承包商火炬集团工程款 ， 无拖期支付工程进度款行为 。光刻机入场就被拿去抵押贷款2019 年 12 月 ， 武汉弘芯高调举行的“ASML 光刻机入场仪式”掩盖了资金困境 。 这台 ASML 光刻机价值人民币 5.8 亿元 ， 号称“国内唯一一台能生产 7 纳米芯片”的设备 ， 但有业内人士表示这台型号 1980 的设备做不到 7 纳米 。 、据报道 ， 这台的光刻机刚刚入场就被用于抵押贷款 。 通过天眼查发现 ， 今年 1 月 20 日（也就是在武汉封城之前） ， 武汉弘芯就将这台 ASML 光刻机抵押给了武汉农村商业银行股份有限公司东西湖支行 ， 贷款了 58180.86 万元 。 根据抵押资料显示 ， 抵押的这台 ASML 光刻机型号为 TWINSCAN NXT:1980Di ， 状态为“全新尚未启用” ， 评估价值为 58180.86 万元 。除了这台光刻机 ， 目前弘芯厂区的设备寥寥无几 。2020 年第一季到第二季之间 ， 武汉弘芯是处于搬入机台设备的高峰期 ， 已入厂的设备主要以光刻机为主 ， 而其他的设备预计于 3 月后陆续到位 ， 等到机台进场 ， 会进行装机和验机程序 ， 然后密集地展开研发 。然而 ， 疫情打乱了原本计划和节奏 ， 除了影响密集装机 ， 目前已经招募员工距离目标数字也有较大距离 。 2020 年 6 月 ， 有传闻称蒋尚义已“萌生退意” ， 原因是弘芯的投资与设备未能到位 ， 导致运营困难 。官方新闻最后一次更新显示为 7 月 8 日 。 主题为疫情期间弘芯公司坚守岗位员工表彰大会隆重举行 ， 董事长李雪艳、总经理兼首席执行官出席蒋尚义出席会议 。据了解 ， 武汉弘芯原计划购置设备 3,560 台套 ， 但根据东西湖区统计局的分析报告 ， 2020 年开始的新冠肺炎疫情让武汉封城长达 76 天 ， 导致后续设备无法顺利装机 。 再加上近期中美贸易战的持续升温 ， 取得美国半导体设备难度增高 ， 目前专案一期生产线仅有 300 多台套设备 ， 处于在订购和进厂阶段 。武汉弘芯原本计划第一阶段建月产能达 3 万片的 14nm 逻辑 IC 生产线 ， 第二阶段将建置月产能 3 万片的 7nm 生产线 ， 第三阶段将建晶圆级先进封装及小芯片（chiplet）生产线 ， 如今产线规模大幅度缩水 。即使只有少数设备进厂 ， 武汉弘芯也未能付清尾款 。 据台媒报道 ， 台湾厂商帆宣系统科技日前就因未收到尾款 ， 而将卖给武汉弘芯的特种气体设备从厂区撤走 。员工被要求延迟入职有自称弘芯员工的网友表示 ， 工厂现有四、五百名员工 ， 但因设备数量屈指可数 ， 无法进行生产线实际操作 ， 现在的日常工作“都是读 paper、写 PPT” ， 部分员工须进行“产线模拟” ， 由员工“饰演”机台 。 有报导指出 ， 弘芯的 14nm、7nm 生产线都还遥不可及 ， 但“产线模拟”员工组已开始强攻 3nm 了 。据悉公司还要求部分已经收到 offer 的员工延迟到岗报道 。 知乎上名为@inception 的作者表示 ， 他本来 7 月份应该入职的 ， 结果现在不断往后延迟入职 ， 而且具体入职时间也不说 ， 就叫等 ， 头一次遇到这种情况 。在他的发言下有不少遇到相同情况的员工分享他们的遭遇 。 令人不解的是 ， 延期入职说明公司暂时不需要这么多人 ， 但是弘芯每天在前程无忧仍有 200 多个岗位在招聘 。还有网友表示去现场看过 ， 工地根本没啥动静 ， 基本只能用荒凉来形容了 。官方新闻最后一次更新显示为 7 月 8 日 。 主题为疫情期间弘芯公司坚守岗位员工表彰大会隆重举行 ， 董事长李雪艳、总经理兼首席执行官出席蒋尚义出席会议 。对于陷入窘境的半导体项目 ， 一些业内人士并不惊讶 。 当前多地一窝蜂地上马项目 ， 一旦后续资金接续不上 ， 最终的结局只能是关门 。 对于动辄上百亿的半导体项目投资 ， 政府投资带动社会投资的模式也是知易行难 。


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