国产光刻机的艰辛突围路：07年出样机，被国外卡脖子9年才量产( 二 ) 光刻机是什么东西？如果是两年前问这个

国产光刻机关键零部件突围之路

买又买不到，那就只能靠自己独立自主，自力更生了。
第一个关键零部件，镜头曝光系统。
担任这一重要任务的是长春光机所。
长春光机所始建于1952年，由中科院长春光机所与中科院长春物理所于1999年整合而成，是新中国在光学领域建立的第一个研究所，主要从事发光学、应用光学、光学工程、精密机械与仪器的研发生产。
在长春光机所和相关单位的努力下，非球面光学元件投影光刻机曝光光学系统被研制成功。
第二个关键零部件，激光光源。
这一任务难度巨大，因为当时所有的激光光源厂商都已经被asml收购，只有一家日本公司独立生产光源。
但即便如此，它也不肯卖给我们。
担任这一任务的是中科院光电研究院。
中国科学院光电研究院组建于2003年11月，是隶属于中国科学院的国立研究机构，实力强大在光电工程领域展开开前沿性、战略性和系统集成创新工作。
在接下光刻机中的Arf准分子激光光源攻关任务后，中科院光电研究院历时9年的艰苦努力，终于攻克90nm光刻机激光光源难题。
另外还有浙江大学攻克光刻机浸液系统，清华大学攻克了配套双工作台系统......

文章插图
在举国努力下，我们足足用了9年才完全突破这些技术问题，终于将90nm光刻机从样机变成了量产机型，开始向客户供货。
ASML的光刻机再好，也是别人的，不想给我们用时就不给。
上海微电子的光刻机再不好，也是咱们自己的，在被人卡脖子时，也只有自己人才会帮忙。
如今美国利用先进光刻机与芯片对我们整个科技行业卡脖子，你认为国产厂商能够再次突围成功吗？