辐射|带您了解辐射固化技术( 二 )
针对这个问题 , 中国感光学会辐射固化专业委员会在感光学会的统一组织下 , 撰写的《如何突破光刻技术》入选了中国科协2020十大工程技术难题 , 在如何突破光刻技术难题中提到 , 光刻技术的国产化必须是包括光刻设备、光刻胶和所使用全部原料的国产化 , 否则仍不能摆脱受制于人、“卡脖子”的尴尬现状 。 在光刻机方面 , 应扩大低端光刻机的市场 , 优化性能 , 同时尽快推出国产193纳米浸入式光刻机 , 实现中端光刻机的国产化;在极紫外(EUV)光刻方面 , 需要进一步开展相关基础研究 。 同时 , 应开展所有种类光刻胶的完全国产化研究 。 突破光刻技术不仅可以提高我国相关产业链在世界上的竞争力 , 更是从国家安全角度具有十分重大的战略意义 。
前不久 , 中国感光学会辐射固化专业委员会召开第二十一届中国辐射固化年会 , 中国科学院院士杨万泰作了《关于可见光引发的表面活性交联聚合及应用》的报告 , 中国科学院院士彭孝军介绍了光驱动染料在肿瘤诊疗方面的应用 , 辐射固化协会杨建文教授介绍了中国辐射固化技术在5G通信中的应用 。
本报采访人员 王嘉
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