顶级光刻机售价近12亿元！中企能随便买是另一种
顶级光刻机售价近12亿元！中国企业能随便买的 ， 是另一种来源：中国证券报围绕芯片制造要用到的关键设备——光刻机 ， 一直不缺话题 。比如 ， 一台EUV光刻机卖多少钱？谁买走了这些EUV光刻机？大陆厂商还能买到光刻机吗？为何三星高管最近跑去荷兰拜访ASML总部？上面这几个问题 ， 其实可以在ASML和台积电最新发布的三季报及业绩说明会中找到部分答案 。 两家公司的地位无需多言 ， 前者是全球顶级光刻机龙头 ， 后者是全球芯片制造龙头 。一台售价近12亿元关于售价 ， ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink10月14日介绍公司三季度业绩情况时间接给出了答案 。 他表示 ， “我们第三季度的新增订单达到29亿欧元 ， 其中5.95亿欧元来自4台EUV设备 。 ”简单换算一下 ， 一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元 ， 折合人民币高达11.74亿元 。
图片来源：ASML官网这是什么概念？2019年 ， A股还有1462家上市公司的营业收入低于11.74亿元 。 换句话说 ， ASML每年卖一台EUV光刻机 ， 收入就可完胜A股的1/3公司 。售价这么高 ， ASML根本不愁买家 ， 公司愁的是产能跟不上需求 。ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备 ， 其中10nm及以下的芯片制造 ， EUV光刻机必不可缺 。据了解 ， EUV光刻机不需要多重曝光 ， 一次就能曝出想要的精细图形 ， 没有超纯水和晶圆接触 ， 在产品生产周期、光学邻近效应矫正的复杂程度、工艺控制、良率等方面都有明显优势 。ASML的EUV光刻机也在推陈出新 。 公司10月14日还公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格 ， 曝光速度达到每小时曝光160片晶圆 ， 提高了18%的生产效率 ， 计划于2021年的中期开始发货 。ASML三季度净销售额为40亿欧元 ， 预计四季度的销售额将在36亿欧元到38亿欧元之间 ， 毛利率约50% 。 “2021年 ， 由于宏观环境的不确定因素 ， 包括疫情给经济带来的影响 ， 以及地缘政治的变化 ， 我们预期业绩增长将是低双位数 。 尽管如此 ， 终端市场驱动因素的变化（比如5G、人工智能和高性能计算） ， 将推动先进制程的逻辑芯片和存储芯片的市场需求 ， 这都需要使用到先进的光刻机 。 ” Peter Wennink说 。芯片大厂争购ASML的EUV光刻机在2016年正式上市 ， 主要供应给英特尔、台积电和三星这三家大客户 。 其EUV光刻机出货量一直在增加 ， 从2016年的5台上升到2019年的26台 。目前 ， 台积电已将可量产的工艺推到5nm ， 大幅领先英特尔和三星；同时 ， 按照计划 ， 公司3nm工艺将在明年试产 ， 2022年下半年正式量产 。 重要的是 ， 客户对其7nm工艺和5nm工艺的需求十分强劲 ， 这两项工艺的收入占比在三季度已达43% 。 因此 ， 台积电对EUV光刻机的需求无疑也是最强劲的 。
图片来源：台积电三季报近期有媒体报道 ， 由于先进工艺推进顺利和订单扩大 ， 台积电将加大EUV光刻机的采购力度 ， 预计到2021年底采购量至55台左右 。 台积电方面回复中国证券报采访人员采访时表示 ， 公司不评论市场传闻 。 前述媒体援引半导体供应链消息称 ， 台积电采购的EUV光刻机已经超过30台 ， 三星累计采购的EUV光刻机不到20台 。值得注意的是 ， ASML的财报显示 ， 三季度来自中国台湾地区贡献的收入占比为47% ， 环比提高了26个百分点 。 业界认为 ， 这主要是由台积电采购EUV光刻机带来 。与此同时 ， ASML来自韩国的收入占比出现下降 ， 从二季度的38%下降到三季度的26% 。 有报道称 ， 三星电子副董事长李在镕近日飞赴ASML荷兰总部会晤 ， 双方探讨的核心是EUV光刻机的供应和装配(5nm) ， 同时就面向AI等领域的下一代光刻机研发合作交换了意见 。当然 ， ASML光刻机的买家还有大陆厂商 ， 但购买EUV光刻机存在阻力 ， 而购买DUV光刻机无碍 。 Peter Wennink表示 ， “根据当前法规 ， ASML无需获得美国出口许可证便可以继续从荷兰向中国客户出货DUV光刻系统；对于直接从美国发货系统或零件到受法规影响的客户 ， ASML需获得许可证 。 ”EUV光刻机和DUV光刻机有什么不同？根据曝光源的不同 ， 光刻机分为EUV型（极深紫外线）、DUV型（深紫外线） 。 从制程范围来看 ， DUV基本上只能做到25nm ， 而EUV能满足10nm以下的晶圆制造需求 。[责任编辑：邓金明 PX200]
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