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三星台积电EUV光刻机之战推演：榨干ASML未来5年产能( 四 )


此外 ， 根据专家提供的信息 ， 三星副董事长李在镕在10月13日访问ASML期间要求的“2020年9台EUV光刻机”中 ， 至少有4台将在2020年抵达三星 ， 其余5台预计将在2021年初被引入 。 此外 。 2021年后 ， 尚不清楚是否会落实“每年20台EUV设备” ， 但似乎将会引入类似数量的EUV光刻机 。
六、台积电和三星EUV引进计划综上所述 ， 经计算 ， 台积电到2020年底已获得61台EUV ， 2021年后的五年间平均每年需引入58台EUV光刻机 。 同时 ， 三星似乎从2020年底到2021年初已获得9台EUV光刻机 ， 并要求此后每年引入20台 。 因此 ， 估算到2021年后 ， 台积电和三星将总共每年需要约80台EUV光刻机 。
根据三星的要求 ， 如果按照作者的计算为台积电引入EUV ， 那么将如下图所示 ， 到2025年底 ， 三星将拥有119台EUV光刻机 ， 台积电将拥有353台 。 此外三星可能早于台积电安装多个High-NA原型设备 。
三星台积电EUV光刻机之战推演：榨干ASML未来5年产能文章插图
台积电和三星拥有的EUV光刻机数量预测（来源：每个公司的计划和作者的预测）
问题在于 ， ASML是否每年可以生产和供应约80台EUV光刻机 。 下面 ， 文章将根据ASML过去向投资者公开的材料 ， 来讨论这种可能性 。
七、ASML EUV生产计划下图是ASML在2016年10月31日“Investor Day”期间向投资者们展示的信息 。 EUV光刻机在ASML称之为Cabin的洁净室中生产 。
由于一个Cabin生产一台EUV光刻机 ， 因此增加Cabin的数量才能批量生产EUV光刻机 。
三星台积电EUV光刻机之战推演：榨干ASML未来5年产能文章插图
ASML EUV扩增Cabin计划的来历资料（来源：为投资资本家发布基础摘取自ASML简介材料“ EUV行动及其商业服务台” ， 2016年10月31日）
从上图可见 ， ASML在2014年有15个Cabin ， 2015年增加了10个Cabin至25个Cabin 。 之后可以看出 ， 该计划是根据需要来增加Cabin的数量 ， 另据专家的信息 ， ASML到2020年将拥有35个Cabin 。
下一个问题是 ， 在一个Cabin中组装一台EUV ， 需要花费几个月的时间？
截至2016年 ， 生产一台EUV将花费超过12个月的时间 。 这是因为ASML在2016年仅交付了5台EUV光刻机 ， 在2017年交付了10台 ， 在2018年交付了18台 。
ASML在2019年出货了26台EUV光刻机 ， 但可以估计25个Cabin中的每个Cabin在一年内生产了一台EUV 。 如果按35个Cabin中每个Cabin在一年内生产一台EUV来算 ， ASML在2020年可以交付36台EUV光刻机 。
三星台积电EUV光刻机之战推演：榨干ASML未来5年产能文章插图
ASML EUV生产预测
那么 ， ASML能做什么来满足2021年以后台积电、三星总共70-80台EUV光刻机的需求？
突然将Cabin数量从35个增至80个是不可能的 ， 那么别无选择 ， 只能缩短一台EUV光刻机的组装时间 。
直到2019 ， 生产一台EUV光刻机似乎花了12个月的时间 。 但到2020年 ， 在三星副董事长访问后 ， EUV光刻机出货量又增加4台 ， 因此将总共出货40台 。 换句话说 ， 每台EUV光刻机的组装时间从12个月缩短至10个月 。
如果35个Cabin的建设期为10个月 ， 则可以生产42台EUV光刻机；如果建设期为8个月 ， 则可以生产52台；如果建设期为6个月 ， 则可以生产70台 。
对缩短施工时间影响最大的部分 ， 是卡尔·蔡司（Carl Zeiss）生产的用于EUV的光学镜头 。 根据有关人士的信息 ， 卡尔·蔡司镜的生产效率正在逐步提高 ， EUV生产的建设周期似乎正在缩短 。
也就是 ， 每年交付70台EUV光刻机 ， 似乎并非不可能实现的事 。
八、ASML的预测在2018年11月8日“Investor Day”期间 ， ASML向投资者展示了2020年的EUV需求和预测 ， 包括高需求和低需求两种类型的预测 ， 而实际情况接近高需求 。


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