甜腻的嘴角|国产芯片指日可待！，国产光刻机关键技术获突破
“要把美国卡脖子的清单便成科研任务清单” ， 中科院院长白春礼在前段时间的一段发言 ， 令人振奋 。 他表示 ， 将集中全员力量来攻克光刻机、航空轮胎等难题 。 有着中科院在前方的引领 ， 国产光刻机有望迎来曙光 ， 国产芯片产业将逐渐走向安全可控 。
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大家都知 ， 光刻机有着“精密机械上的皇冠”之称 ， 研制难度极大 ， 目前全球排得上名的光刻机企业 ， 仅ASML、尼康、佳能三家 。 而ASML则走在行业最前列 ， 是集成西方科技企业高端技术的产物 ， 是技术集大成者 。 并对EUV光刻机完全垄断 。 顶级光刻机的制造难度在于 ， 其镜头、激光系统等核心零部件研制难度便不小 。
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光刻机所需的所有材料都是由各个行业的顶尖高新企业研发的！例如光刻机的镜片仅蔡司能够提供 。 一台高端光刻机有十几万个零部件 ， 想要打通全产业链同样有极高的难度 。 其实我国在光刻机领域的配套技术已有相当的基础 ， 并且在光刻机关键技术——极紫外光光源领域 ， 也实现了不小的突破 。
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中科院长春精密机械与物理研究所（简称“长春光机所”） ， 是我国首个光学领域研究所 。 中国首台大型电影经纬仪、首台红宝石激光器等 ， 均出自长春光机所之手 。 20世纪90年代时 ， 长春光机所便在EUV/X射线成像领域展开了研究 ， 并打下了理论基础 。
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经过8年的不断研究 ， 长春光机所在13.5nm波长极紫外光上取得突破 ， 并建立EUV光刻曝光装置 。 由此 ， 极紫外多层膜、超高精度非球面加工与检测等等 ， 在这些限制我国极紫外光刻发展的核心单元技术上 ， 长春光机所实现了长足的进步 。
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2017年 ， 由长春光机所牵头的“极紫外光光刻关键技术研究”项目 ， 成功实现验收 。 有着长春光机所的研究作为基础 ， 中科院在光刻机领域的研究会顺利许多 。 当前 ， 我国芯片产业还有着明显的落后 ， 由于是高端芯片制造亟待进步 。 受此影响 ， 在美国禁令生效后 ， 华为高端芯片陷入无芯可用的境况 。
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【甜腻的嘴角|国产芯片指日可待！，国产光刻机关键技术获突破】而华为只是一个中美贸易摩擦之下的缩影 ， 若是中国不尽早掌握芯片自主权 ， 那么华为的情况很可能再次上演 。 因此 ， 在这样的情况下 ， 白春礼院长才更要说出将美国卡脖子清单 ， 变为科研清单 ， 这样铿锵有力的话 。
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