光刻机|打破阿斯麦技术垄断，我国攻克光刻机核心部件，助力圆梦7纳米
【光刻机|打破阿斯麦技术垄断，我国攻克光刻机核心部件，助力圆梦7纳米】
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众所周知全球目前没有任何一个国家可以单独制造出光刻机 ， 就算是光刻行业的龙头企业阿斯麦所生产的光刻机 ， 也是用了美国的极紫外光源技术、日本和德国的光学设备、瑞典的零件以及三星和台积电的组装才完成的 。
而近日我国民企北京华卓精科科技有限公司（以下简称华卓精科）传来喜讯 ， 光刻机最核心的三大技术之一的双工件台已经突破纳米级的限制 ， 成功打破垄断 ， 成为全世界第二家可以独立生产制作双工件台的公司 。
双工件台到底是做什么的大家可能不是很清楚 ， 下面就让小编和大家一起聊一聊 。
双工件台就是在高速运动下需达到2nm（相当于头发丝直径的三万分之一）的运动精度 ， 它的定位精度直接影响了 光刻出来的硅片的质量 。这也奠定了光刻机超精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域的最尖端地位 。
目前单工件台的光刻机的生产速度只有每小时80片 ， 而双工件台 ， 它的生产速度则可以高达每小时270片~300片 。
虽然 ， 相比单工件台系统来说 ， 双工件台系统虽然仅是加一个工件台 ， 但技术难度却不容小觑 ， 对工件台转移速度和精度有非常高的要求 ， 此前仅有荷兰阿斯麦一家垄断 ， 直到最近才被中国打破垄断 。
华卓精科的双工件台的研发对于我国芯片行业来说意义重大 ， 相信再过不久我们自己国产的7纳米就会成为现实 ， 请大家拭目以待吧 。
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