台积电|新存储技术现变局,台积电优势显现提前布局
可变电阻式随机存取存储器(RRAM)为代表的新兴存储技术逐渐成为市场热点 。 全球领先的晶圆代工厂台积电对此进行了提前布局 。
媒体8月15日报道 , 随着半导体制造技术持续朝更小的技术节点迈进 , 传统的DRAM和NAND Flash面临越来越严峻的微缩挑战 , DRAM已接近微缩极限 , 而NAND Flash则朝3D方向转型 。
此外 , 传统存储技术在高速运算上也遭遇阻碍 , 处理器与存储器之间的“墙”成为了提升运算速度和效率的最大障碍 。 特别是AI的发展 , 数据需求量暴增 , “墙”的负面效应愈加突出 , 越来越多的半导体厂商正在加大对新兴存储技术的研发和投资力度 , 寻求成本更佳、速度更快、效能更好的存储方案 。
在过去几年里 , 包括台积电、英特尔、三星、格芯等晶圆代工厂和IDM , 相继大力投入MRAM 研发 , 而且主要着眼于STT-MRAM , 也有越来越多的嵌入式解决方案诞生 , 用以取代Flash、EEPROM和SRAM 。 早在2002年 , 台积电就与工研院签订了MRAM合作发展计划 。 近些年 , 该公司一直在开发22nm制程的嵌入式STT-MRAM , 采用超低漏电CMOS技术 。
【台积电|新存储技术现变局,台积电优势显现提前布局】2018年 , 台积电进行了eMRAM芯片的“风险生产” , 2019年生产采用22nm制程的eReRAM芯片 。 2019年 , 台积电在嵌入式非易失性存储器技术领域达成数项重要的里程碑:在40nm制程方面 , 该公司已成功量产Split-Gate(NOR)技术 , 支持消费类电子产品应用 , 如物联网、智慧卡和MCU , 以及各种车用电子产品 。 在28nm制程方面 , 该公司的嵌入式快闪存储器支持高能效移动计算和低漏电制程平台 。
在ISSCC 2020上 , 台积电发布了基于ULL 22nm CMOS工艺的32Mb嵌入式STT-MRAM 。 该技术基于台积电的22nm ULL(Ultra-Low-Leakage)CMOS工艺 , 具有10ns的极高读取速度 , 读取功率为0.8mA/MHz/bit 。 对于32Mb数据 , 它具有100K个循环的写入耐久性 , 对于1Mb数据 , 具有1M个循环的耐久性 。 它支持在260°C下进行90s的IR回流焊 , 在150°C下10年的数据保存能力 。 它以1T1R架构实现单元面积仅为0.046平方微米 , 25°C下的32Mb阵列的漏电流仅为55mA 。
目前 , 台积电已经完成22nm嵌入式STT-MRAM技术验证 , 进入量产阶段 。 在此基础上 , 该公司还在推进16nm制程的STT-MRAM研发工作 。
除了MRAM , 台积电也在进行着ReRAM的研发工作 , 并发表过多篇基于金属氧化物结构的ReRAM论文 。
工研院电光所所长吴志毅表示 , 由于新兴存储技术将需要整合逻辑制程技术 , 因此现有存储器厂商要卡位进入新市场 , 门槛相对较高 , 而台积电在这方面具有先天优势 , 因为该公司拥有很强的逻辑制程生产能力 , 因此 , 台积电跨入新兴存储市场会具有竞争优势 。
据悉 , 工研院在新兴存储技术领域研发投入已超过10年 , 通过元件创新、材料突破、电路优化等方式 , 开发出了更快、更耐久、更稳定、更低功耗的新一代存储技术 , 目前 , 正在与台积电在这方面进行合作 。 未来 , 台积电在新兴存储器发展方面 , 工研院将会有所贡献 , 但具体内容并未透露 。
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