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溅射靶材——国产替代的重中之重


靶材 ， 是溅射薄膜制备的源头材料 ， 又称溅射靶材 ， 特别是高纯度溅射靶材应用于电子元器件制造的物理气相沉积 ， 它是半导体芯片制造中不可或缺的环节和材料 。
但是半导体领域对靶材的要求非常高 ， 对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等方面都设定了极其苛刻的标准 ， 需要掌握生产过程中的关键技术并经过长期实践才能制成符合工艺要求的产品 ， 因而有实力产出高纯电子级靶材的企业与公司并不得多 ， 也使得电子级靶材价格较为昂贵 。
过去 ， 半导体靶材这种高精尖的材料制造工艺一般是掌握在如住友化学、霍尼韦尔等美、日企业手上 ， 整个行业呈现出寡头垄断的格局 。 这些企业在掌握溅射靶材生产的核心技术以后 ， 实施极其严格的保密措施 ， 限制技术扩散 ， 同时不断进行横向扩张和垂直整合 ， 将业务触角积极扩展到溅射镀膜的各个应用领域 ， 牢牢把握着全球溅射靶材市场的主动权 。
靶材市场各主要企业市占率
溅射靶材——国产替代的重中之重
本文插图

（数据来源：半导体观察、财通证券）
以霍尼韦尔为例 ， 它是世界第二大溅射靶材供应商 。 2007年 ， 霍尼韦尔抓住中国电子产业蓬勃发展的机会 ， 将电子材料总部迁往上海 。 此后 ， 便一发不可收拾 。 2014年 ， 霍尼韦尔研发出等径角塑型（ECAE）新型靶材 ， 具有更高的材质硬度和更少的杂质颗粒 ， 牢牢把控着国内市场的高端领域 。
然而 ， 中国的靶材市场并非完全是外资企业的天下 ， 863计划、02专项基金等加速了国产溅射靶材替代外资品牌的进程 。 目前 ， 国内靶材厂商虽然主要聚焦在低端产品领域 ， 在半导体、平板显示器和太阳能电池等市场还无法与国际巨头全面竞争 ， 但是 ， 依靠国内的巨大市场潜力和利好的产业政策 ， 以及产品价格优势 ， 它们已经在国内市场占有一定的市场份额 ， 并逐步在个别细分领域抢占了部分国际大厂的市场空间 。
国内现有的靶材企业
溅射靶材——国产替代的重中之重
本文插图

【溅射靶材——国产替代的重中之重】（资料来源：新材料在线）
国内靶材崭露头角 ， 呈现定点突破局面 ， 正是需要社会资金大力投入奋力追赶之关键时刻 。 随着大基金二期成立 ， 靶材行业的资金问题得以解决 。 大基金总裁丁文武表示二期将向材料设备端倾斜 ， 与一期形成互补 。 近段时间 ， 随着外部环境的变化 ， 国产替代刻不容缓 ， 我们相信 ， 国家在半导体材料领域国产化的投入将会越来越大 ， 溅射靶材行业将迎来春天 。
A股上市公司中 ， 半导体靶材领域有两家比较重要的上市公司 。 其一是江丰电子 。 目前 ， 江丰电子的超高纯金属溅射靶材产品已应用于世界著名半导体厂商的先端制造工艺 ， 在7纳米技术节点实现批量供货 ， 而且已经成为台积电、中芯国际、海力士、联华电子等客户的主要供应商 。 央视纪录片《大国重器》也曾前去公司拍摄 ， 并披露公司产品已经得到日本尖端公司的认可 。 可以说 ， 公司是靶材领域的不二龙头 。
江丰电子营收与毛利率
溅射靶材——国产替代的重中之重
本文插图

（资料来源：公司公告）
其二是有研新材 ， 其靶材制造业务主要是通过其子公司有研亿金开展 。 有研亿金是国内规模宏大、门类齐全、技术能力一流的高纯金属溅射靶材制造企业 ， 也是国内屈指可数具备从超高纯原材料到溅射靶材、蒸发膜材垂直一体化研发和生产的产业化平台 。 公司高纯钴靶已实现批量销售 ， 新研发的14款Al靶已大多数通过客户验证 ， 8-12英寸铜靶即将进入批量供货 ， 12英寸Ti靶新品已于多家客户小批量供货 ， 而且公司的12英寸Ti靶新品已于多家客户小批量供货 。 公司客户端覆盖中芯国际、大连Intel、GF、TSMC、UMC、北方华创等多家高端客户 ， 在半导体靶材领域具备一定的竞争实力 。


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