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芯片|美断供芯片 俄罗斯决定从头开造光刻机( 二 )


至于无掩膜光刻，他们一开始其实并没有选择这一路径，甚至还一度与ASML平齐 。
早在2010年，ASML出货第一台预生产的EUV光刻机时，俄罗斯一个物理研究所IPM（RAS）也在开发EUV的系统及元件，以及装置原型的搭建 。
其中开发人员还提出了辐射源设计的原始解决方案，部分还应用到了ASML光刻机上 。
然鹅，这个项目在布局阶段就结束了 。
RAS首席研究员、苏联国家奖获得者、多层X射线光学系主任Salashchenko Nikolay透露了原因：
一个国家无法单独拉动这项工作 。而全世界都在帮助荷兰（ASML在荷兰）  。
于是，他们就开始寻找其他路径，在无掩膜式光刻机上迭代工艺就是其中一种 。
之所以让MIET承接，是因为此前MIET跟一些机构合作中，在无掩膜EUV光刻机上有过研究进展 。
2002年，MIET中主要从事纳米电子器件研究的研究中心成立 。
研究领域覆盖X射线器件、微机电系统和纳机电系统——这些技术都与研发光刻机密切相关 。
并且已经开展了部分研究，比如“基于微聚焦X射线管列阵的软X射线源研制，适用于10nm无掩膜光刻机”，就是其中之一 。
这项研究由RAS微观结构物理研究所的Nikolay Chkhalo教授牵头 。
他目前是该研究所的实验室主任，发表论文200多篇，主要研究领域为X射线光学、光学干涉测量等 。
综上可见，从理论基础这一角度来看，俄罗斯搞光刻机这事儿也不能说完全不靠谱 。
不过值得一提的是，在俄媒最近的报道中也直言，光刻机计划晚了15年 。
如果这一计划在15年前启动，或许俄罗斯现在不会面临如此大的微电子技术威胁了 。
最大芯片制造商只能做公交卡芯片
值得注意的是，就在这消息大范围传开的前夕，美国财政部宣布冻结俄罗斯21家实体企业、13个人的在美资产 。
其中一家芯片厂公司进入大家的视野 。
Mikron，俄罗斯最大的芯片制造商、微电子制造商和出口商 。而这也就意味着，俄罗斯芯片厂目前几乎已被全线制裁 。
因此现在宣布这项光刻机计划，一方面是给俄罗斯国内注入一场强心剂 。
【芯片|美断供芯片 俄罗斯决定从头开造光刻机】另一方面，从现有的俄罗斯芯片水平来看，更有迫在眉睫之势 。
以Mikron为例，就可见一斑 。
从官网给出的产品目录中可以看到，该公司可实现最高65nm工艺，主营银行卡、公交卡之类的RFID以及电源管理芯片 。
还创下了不少个第一：180/90/65nm工艺第一制造商、用于身份证件的芯片模块第一制造商、第一出口商，占俄罗斯微电子产品出口的54% 。
芯片|美断供芯片 俄罗斯决定从头开造光刻机
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这家公司的历史，可以追溯到前苏联——上个世纪六十年的分子电子研究所（NIME） 。
当时，微电子技术并在热火朝天的发展 。苏联国家技术委员会意识到建设微电子产业的必要性，开始大举组织研究所和工厂 。
NIME就是其中之一 。
不到两年时间（1966年），在实验车间生产的微电路产量就达到了10万片 。
随后在第二年，依照政府命令，Mikron工厂从研究所中脱胎出来，致力于生产集成电路 。
当时诸多技术均属于国内首创，比如砷化镓微电路平面技术、发射极耦合逻辑的IC晶体、大规模使用的数值和模拟集成电路……
1970年，Mikron已经为各个行业制造了超350万个微电路供应，之后还陆续用在国防、超级计算机等领域 。
在整个半导体行业中，苏联的微电子技术在全球排名第三，仅次于美国和日本 。可以说，这时候的Mikron乘着时代之风快速前进 。
不过，这种势头很快就因为苏联解体戛然而止——几乎所有的苏联计算机制造商都停止了运营，只有少数公司通过外国组件/技术转让得以幸存 。
Mikron就是其中一个 。
2006年，Mikron开始引入海外技术——意法半导体技术转让，使其具备生产180nm芯片的能力 。并于2007年开始生产180nmEEPROM的集成电路 。
随即，Mikron就开始生产接触式智能卡的芯片模块，很快就掌握了RFID交通卡的全流程生产，并开始为莫斯科地铁站供应 。
同年，它还开始为电信行业生产SIM卡 。
或许是尝到了甜头，Mikron再度与意法半导体展开技术转让合作 。
据当时《半导体国际》报道，公司有意每年更新一代工艺，计划于2008年和2009年分别推出130nm和90nm的工艺 。


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