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华为|大动作！华为最新投向光刻机 一图看懂国产产业链名单

6月7日讯 ， 在华为重磅发布HarmonyOS 2（鸿蒙操作系统）的当天 ， 天眼查显示 ， 华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域了 ， 入股了由中科院微电子所控股的北京科益虹源公司 。
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公开信息显示 ， 北京科益虹源光电技术公司的控股股东是中科院微电子所 ， 持股26.6% ， 主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统 ， 是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业 。
光刻胶板块最近几日表现比较强势 ， 近两周累计涨幅接近15% 。
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方正证券指出 ， 光刻机作为前道工艺七大设备之首（光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备） ， 价值含量极大 ， 在制造设备投资额中单项占比高达23% ， 技术要求极高 ， 涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术 。光刻机是人类文明的智慧结晶 ， 被誉为半导体工业皇冠上的明珠 。
【华为|大动作！华为最新投向光刻机 一图看懂国产产业链名单】方正证券认为 ， 目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ,CR3高达99% 。在当前局势下 ， 实现光刻机的国产替代势在必行 ， 具有重大战略意义 。在02专项光刻机项目中 ， 设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机 ， 其制程工艺为28纳米 。考虑到此项目作为十三五目标 ， 未来具有较大的明确性 ， 结合 28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势 ， 光刻机国产替代将迎来新的曙光 。
方正证券陈杭建议关注光刻产业链 ， 一是光刻机核心组件：负责整体集成的上海微电子、负责光源系统的科益虹源 ， 负责物镜系统的国望光学 ， 负责曝光光学系统的国科精密 ， 负责双工作台的华卓精科 ， 负责浸没系统的启尔机电；二是光刻配套设施：包括光刻胶 ， 光刻气体 ， 光掩模版 ， 光刻机缺陷检测设备 ， 涂胶显影设备等 。
方正证券梳理光刻机产业链如下图：
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