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国产光刻机背后的希望( 三 )


2、北京国望光学
北京国望光学科技有限公司成立于2018年 ， 经营范围包含光刻机曝光光学系统、高端镜头、光电仪器与装备、光学加工与检测设备等 。
目前 ， 北京亦庄国际投资发展有限公司持股国望光学约66.67% ， 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所持股国望光学约14.67% 。
3、长春国科精密
长春国科精密光学技术有限公司成立于2014年 ， 总部位于吉林省长春市 ， 在上海设有投影光刻照明系统研发事业部 。
目前 ， 长春国科精密由长春净月创业投资有限公司100%持股 。 值得一提的是 ， 长春国科精密与北京国望光学的法定代表人 ， 均为长春光机所所长助理孙守红 。
长春光机所是中科院最大的研究所 ， 先后孕育出了西安光机所、上海光机所、成都光机所等科研机构 。
据长春国科精密官网 ， 目前 ， 长春国科精密作为“国家科技重大专项02专项”支持的唯一高端光学技术研发单位 ， 正在承担NA0.82、NA1.35等多种类型高端IC制造投影光刻机曝光光学系统的技术研发及产业化推进工作 。
4、北京华卓精科
华卓精科成立于2012年 ， 主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化 。 目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备等 。
今年六月份 ， 华卓精科的科创板IPO申请获得上交所受理 ， 但这一IPO流程已于9月30日被中止 。 根据上交所官网 ， 中止原因是华卓精科发行上市申请文件中记载的财务资料已过有效期 ， 需要补充提交 。
在华卓精科递交的招股书中可以看到 ， 其光刻机双工件台产品的重要客户 ， 正是上海微电子 。
国产光刻机背后的希望文章插图
北京华卓精科主要客户群体
5、浙江启尔机电
浙江启尔机电技术有限公司成立于2013年 ， 主要研发、生产和销售高端半导体装备超洁净流控系统及其关键零部件 。 启尔机电前身是浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队 。
四、无掩模光刻机已实现“从0到1”相比有掩模光刻机 ， 中国在无掩模光刻机方面走得更远 。 尽管激光直写光刻技术难以达到纳米级别的光刻精度 ， 但在面板（FPD）领域有较多应用 。
商务部数据显示 ， 2013年至今 ， 国内面板市场发展迅速 ， 2013～2020 年复合增长率达 36.48% 。 从全球市场占比来看 ， 2013年至今 ， 中国面板产能持续增长 ， 在全球市场占比已达到近50% 。
国产光刻机背后的希望文章插图
2013-2020年中国面板产能及全球占比（来源：商务部 ， 国泰君安证券）
目前 ， 除了大陆光刻机龙头上海微电子外 ， 合肥芯硕半导体、无锡影速半导体、东方晶源微电子等玩家已经在无掩模光刻机市场取得技术突破 。
其中 ， 合肥芯硕半导体是国内首家半导体直写光刻设备制造商 ， 研发的ATD4000型号产品已经实现最高200nm的量产 。
无锡影速半导体是由中科院微电子所联合业内技术团队、产业基金发起成立的专业微电子装备企业 ， 目前已成功研发国际首台双台面高速激光直接成像连线设备（LDI） ， 实现了最高200nm的量产 。
东方晶源微电子的产品主要用于20nm以下极大规模半导体片制子束图像检测设备和合优化开发及生产 ， 可为关键工序提供高速、高精度的检测系统 。
结语：中国光刻技术攻关的关键时刻不论是瓦森纳协定还是近期的中美贸易摩擦 ， 在国产芯片产业链面临的困境中 ， 光刻技术无疑是直接卡“脖子”的一环 。
要解决这一问题 ， 技术攻关当然必不可少的 。 目前 ， 国产的深紫外线光刻机正处于研发的关键进程之中 。 在这背后 ， 包括上海微电子在内的多位国产玩家正在攻关 。


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