蚀刻机和光刻机之间的区别，国产5nm蚀刻机取得台积电认证
最近5nm刻蚀机被炒的很火 ， 网上铺天盖地的消息都在说 ， 中国芯片已经实现弯道超车 ， 我国芯片将自给自足 ， 不用担心被卡脖子的问题了 。 其实这种说法是极其不专业的 ， 纯粹就是偷天换日、混淆视听 。
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乍一看光刻机和蚀刻机非常接近 ， 但是光刻机和蚀刻机却不能混为一谈 ， 因为蚀刻只是制造芯片其中之一的环节罢了 。 而刻蚀机也只是诸多芯片制造设备其中之一 。 下面我给大家聊一下蚀刻机 。
蚀刻机和光刻机其实就是完全不同的两种设备 ， 不论从功能还是结构上来说都是天差地别 ， 光刻机是整个芯片制造过程中最为核心的设备 ， 芯片的制程是由光刻机决定的 ， 而不是蚀刻机 。
【蚀刻机和光刻机之间的区别，国产5nm蚀刻机取得台积电认证】从工作原理上看光刻机和蚀刻机 。
如果把制造芯片比喻成盖房子 ， 那么光刻机的作用就是把房子的结构标注在地上 。 刻蚀机就是在光刻完成以后才登场的设备 ， 也是光刻完成以后最为重要的设备之一 。 刻蚀机最主要的作用就是按照光刻机已经标注好的线去做基础建设 ， 把不需要的地方给清除掉 ， 只留下光刻过程中标注好的线路 。
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从结构上来看光刻机和蚀刻机 。
光刻机的最主要的核心技术就是光源和光路 ， 其光源和光路的主要组成部分有四个 ， 光源、曝光、检测、和其他高精密机械组成 。 对比之下 ， 蚀刻机的结构组成就要简单很多 ， 主要是等离子体射频源、反应腔室和真空气路等组成 。
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从售价来看蚀刻机和光刻机 。
ASML的EUV光刻机单台售价高达1.2亿美元 ， 而蚀刻机的售价就要低很多了 ， 每台售价在几十万到几百万美元之间 。
蚀刻机的相关工作原理我之前有发文 ， 有感兴趣的可以去我主页去找 ， 这里我也不再过多叙述 。
国产蚀刻机就给我国半导体领域做了一个很好的榜样 ， 我国中微半导体研发出国际主流的5nm蚀刻机并取得台积电的认证后 ， 美国商务部就把蚀刻机从对华出口限制清单上移除了 。 这充分说明了一件事情 ， 只要自己有了核心技术 ， 对手就没法再打压你 。
总体来说 ， 我国在半导体领域还相对比较落后 ， 还有较长的路要走 ， 但是只要我们坚持走下去 ， 就一定可以看见彩虹 。
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