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中国半导体行业距搞出自主化28nm生产线非常近！

https://weibo.com/3626485974/JkG ... t#_rnd1600242565442HW前HR9月15日 06:00 来自 HUAWEI Mate30 Pro 5G黑夜中已经看到启明星 ， 中国半导体行业距搞出自主化28nm生产线非常近！中国有很多技术 ， 以前没有人专门凑起来 ， 如果专门搞 ， 估计快差不多 。 要自主化 ， 主要要搞定设备和耗材两部分 。一、设备部分：包括硅片设备-热处理设备-光刻设备-刻蚀设备-离子注入设备-薄膜沉积设备-抛光设备-清洗设备-检测设备 。1、硅片设备 ， 晶盛机电是该领域龙头 ， 12英寸半导体单晶炉已经在国内知名客户中产业化应用 。 技术没问题 ， 真大搞提产能就行 。2、热处理设备 ， 北方华创是该领域龙头 ， 在热处理设备的各个细分领域均有成熟的产品线 。 已经成熟商用 。3、光刻设备 ， 最落后部分 。 上海微电子是龙头 ， 但目前仅有90nm商用 ， 媒体说上海微电子将在2021年完成首台28nm国产光刻机的交付 。不过DUV光源、透镜、双工台都已经有商用技术 ， 突破只是时间问题 。另外 ， 涂胶显影机领域 ， 芯源微是行业龙头 ， 28nm技术已经商用 。4、刻蚀设备 ， 最先进部分 。 中微公司的第二代电介质刻蚀设备已广泛应用于28到5nm生产线 ， 完全够用 。5、离子注入设备：2019年 ， 凯世通的晶圆离子注入机已获得国内12英寸晶圆厂和主流存储器芯片厂的产线验证 。 中国电子科技集团旗下的电科装备也已经研制出了大束流28nm高能离子注入机 ， 并在中芯国际12英寸生产线现场进行使用 。 这个领域技术上满足 。6、薄膜沉积设备：北方华创的PVD设备已经用于28nm生产线中；沈阳拓荆的PECVD设备已在中芯国际40-28nm产线使用 。 这个领域满足 。7、抛光设备：今年上半年 ， 华海清科在华虹半导体（无锡）项目获得3台CMP ， 累计获得5台CMP订单 ， 满足28-14nm生产线要求 。 技术没问题 。8、清洗设备：盛美半导体是该领域的龙头 ， 除了盛美 ， 北方华创的清洗设备也能满足28nm技术节点的需求 。 都已经商用 ， 技术没问题 。9、检测设备：该领域的龙头是赛腾股份 ， 公司通过收购日本Optima进入半导体检测设备领域 ， 客户包括了三星、SK 海力士、台积电等顶级大厂 。 技术上没有问题 。综上所述 ， 设备方面28nm现在就差光刻机 ， 其他都已经正式使用 ， 只要有人拉通 ， 是可以实现28nm自主化生产线的 。 满足绝大多数芯片制程要求 。二、材料方面：硅片-特种气体-光刻胶-抛光材料-高纯湿电子化学品-靶材 。1、硅片：龙头是沪硅产业、中环股份 ， 虽然规模尚小 ， 但12英寸大硅片已完全能满足28nm技术需求 。 已经在中芯国际和台积电使用 ， 技术完全满足要求 。2、特种气体：华特气体也通过了全球最大光刻机供应商ASML公司的产品认证 ， 并为中芯国际、华虹宏力等一线企业供货 。 部分氟碳类产品已被台积电7nm以下工艺使用 。 技术没问题 。3、本土龙头是北京科华 ， 这是国内目前唯一能匹配荷兰ASML光刻机产线供货的光刻胶公司 ， 不过目前还没有到28nm ， 估计要1-2年突破4、CMP 抛光材料：抛光液领域的龙头是安集科技 ， 产品已在14nm技术的芯片产线实现规模化应用 ， 中芯国际、长江存储、台积电、三安光电均为公司客户 。抛光垫领域的龙头是鼎龙股份 ， 28nm已经成熟 。 技术完全没问题 。5、高纯湿电子化学品：龙头是上海新阳 ， 其超纯电镀硫酸铜电镀液已成功进入中芯国际、海力士的28nm工艺制造过程 。 技术完全没问题 。6、靶材：江丰电子目前已可量产用于90-7nm半导体芯片的钽、铜、钛、铝靶材 ， 其中钽靶材在台积电7nm芯片中已量产 ， 5nm技术节点产品也已进入验证阶段 。 技术完全没问题 。总结 ， 除了光刻机和光刻胶需要1-2年外 ， 其他设备和耗材都已满足28nm要求；我国组织攻关1年完成一条28nm的芯片去美化产业链是很可能实现的 。 ——————————————————————这是业内人士对中国芯片制造业的认知 。转述另一位网友的观点：格竹熊：多次说过这两点：1.半导体产业链中国是唯一的团体赛选手 ， 以点带面 ， 全线突破是非常可能的 。 2.半导体产业链市场集中度非常高 ， 最大的难点不是技术壁垒而是市场壁垒 ， 要取得验证、试用、认证非常耗时耗钱 。 现在这个壁垒被美国人拆除了 。


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