科技俱乐部菌|光刻机如何破?,「芯观点」悬在半导体上的达摩克利斯之剑( 二 )


ASML的中国布局与成功因素
第23届中国集成电路制造年会暨广东集成电路产业发展论坛上 , ASML全球副总裁、中国区总裁沈波出席并以《ASML支持集成电路行业发展的技术路线图》为题发表报告 。 沈波表示ASML在中国其实已经布局已久 。
据沈波介绍:“ASML在中国大陆成立第一个办公室迄今已有20年 , 我们在中国大陆12个城市有办事处或分支机构 , 2020年中国区有超过1100人的团队 , 为行业新增和培育了大量光刻技术人才 。 目前ASML在中国已有700多台光刻机的装机 , 几乎所有主要芯片生产厂商都有我们的服务 。 ”
数据显示 , 2019年ASML总营业收入为118.20亿欧元 , 同比增长8%;扣非后归母净利润为25.92亿欧元 。 公司毛利常年维持在40%以上 , 净利率在20%以上 。
在荷兰国土面积狭小没有完整制造体系的地方 , ASML是凭什么获得成功的?沈波认为:“我们是一家开放的公司 , 而开放和合作的环境是有利于复杂半导体制造企业的发展 。 ”
“ASML最新型号的一台光刻机 , 其中10万个精密零件来自全球5千多家供应商 。 ”沈波表示 , 这意味着单单依靠ASML也不足以解决半导体制造的问题 , 其早已是全球化精细合作的结果 。
科技俱乐部菌|光刻机如何破?,「芯观点」悬在半导体上的达摩克利斯之剑
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图源:金十数据
沈波指出 , 集成电路的发展追求积极的微缩路线图、尺寸的微缩便需要边缘定位精度(EPA)的不断提高 。 ASML把研发的技术配套成为光刻解决方案推出 , 其包括了先进控制能力的光刻机台、计算光刻和测量 , 通过建模、仿真、分析等技术让边缘定位精度不断提高 , 令成像达到最优 。 ASML的整体光刻解决方案能够提高产品良率和生产效率 , 不但能够帮助行业客户提升芯片价值 , 同时也可以降低生产成本 。
合作开放的策略加上多年的技术研发令ASML走上了成功之路 , 此外人才招揽和培训也是不可或缺的因素 。 ASML的2.5万名员工来自全球100多个国家 , 而在中国 , ASML员工来自全球各地 , 有着多元化的文化背景 。 据沈波介绍 , ASML中国员工和全球员工一样 , 可以无差别接触到和工作相关的技术知识和培训 。 每一位刚刚加入ASML中国的工程师在第一年都能够接受1200小时左右的技术培训 。
作为半导体制造领域的领军企业 , ASML进入中国并布局已经有20年的时间 , 2000年 , ASML在中国天津正式成立大陆地区的第一个办公室 , ASML迄今为止在中国大陆12个城市有办事处或分支机构 , 分别为天津、上海、北京、无锡、武汉、西安、大连、南京、厦门(晋江)、合肥、深圳、广州 。
跟随中国产业政策和集成电路发展的趋势 , ASML在地理位置上也实现了在中国大陆的扩展:从东到西 , 从南到北 , 从一线城市到二三线城市 。 技术合作和发展方面 , 除了定制化配置相应的光刻设备 , ASML为中国客户提供其所需的光刻技术、服务和解决方案 。
在布局中国的同时 , ASML也加快为中国半导体行业持续输送知识和经验、培养技术研发人才 。 2018年 , ASML在上海成立了全球培训中心 , 现已是全球五大培训中心之一 。 目前ASML在中国多所STEM领域的理工科高校中招聘 , 为中国半导体行业延揽和培养人才 。
中国光刻机水平差距与突破
不难看出 , ASML的发展依然离不开市场、人才、技术的布局和投入 , 这也是中国半导体制造产业需要学习的 。 目前高精度光刻机由ASML、尼康和佳能三家公司保持 , 而顶级光刻机(7nm以下水平)的则由ASML垄断 。
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ASML的光刻机制造更像是一个半导体巧手工匠 , 其实际只掌握了10%的核心技术 , 而来自美国、日本、欧洲、中国台湾、韩国的技术支持和零部件是由ASML集成起来 , 这样才能把极其复杂的EUV光刻机制造出来 。


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