光刻机|荷兰工程师：我们在光刻机调试的时候，你们要安静
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目前 ， 世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机 ， 一台光刻机设备的运输要整整40多个货柜 ， 而且组装之难是世界公认的 。 早年间上海微电子的贺荣明总经理参观了ASML后 ， 都承认给我们全套图纸 ， 确实很难做出来 。
即使做出来了 ， 在进行组装时 ， 也不会调试 ， 比如螺丝的松紧程度 ， 10万个部件之间的平衡等等问题 ， 据说在光刻机组装时 ， 一里外有高铁经过 ， 传出的10-20hz震动都会导致设备失灵 。 设备调试完成后 ， 是启动服务 ， ASML在中国设立的12个机构和一千多人的服务团队就是为启动和后续维修准备的 。
所以光刻机之难 ， 并不止在于关键技术 ， 关键材料 ， 还有与之匹配的调试方法和维修保养 ， 试想一辆大奔一年都要花费上万的保养费 ， 光刻机的保养费只会更加恐怖 。 不过正如汽车保养 ， 其中的水分也就骗骗外行 ， 这里面的奥秘只要摸透了 ， 相信原理并不难 。
【光刻机|荷兰工程师：我们在光刻机调试的时候，你们要安静】
更何况现在国家队进场 ， 四个部门联合发声 ， 力挺光刻机攻坚 ， 上机所长春光机也都在加班加点 ， 放弃国庆假期 ， 就是为了早日成功 。 ASML听到这个消息后 ， 想要早日恢复供货 ， 看来是慌了 ， 怕国产光刻机突破后 ， 第一位置不保 。
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