：三星首次将EUV技术应用于DRAM生产
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集微网消息（文/Jimmy） ， 据ZDnet报道 ， 三星宣布 ， 已成功将EUV技术应用于DRAM的生产中 。
三星已经出货了100万个使用EUV工艺制造的10nm级DDR4 DRAM模块 ， 并得到了客户的评估 。三星表示 ， 评估工作完成后 ， 将为明年大规模生产新的DRAM铺平道路 。
三星在平泽工厂的EUV专用V2生产线将于下半年开始生产DRAM模块 。该生产线预计将生产4代10nm级DDR5和LPDDR5 。
这是平泽工厂除7nm逻辑芯片外又一使用EUV技术生产的芯片 ， 三星称 ， EUV技术将使其单个12英寸晶圆的生产效率提升一倍 。
【：三星首次将EUV技术应用于DRAM生产】三星、英特尔和台积电等全球半导体制造商预计都将扩大EUV技术在芯片生产中的应用 。三星此前曾表示 ， 计划利用EUV技术生产3nm芯片 。（校对/ Jurnan ）
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