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打破光刻机技术垄断 清华系的华卓精科拟上科创板

打破光刻机技术垄断 清华系的华卓精科拟上科创板 2019.11.19 16:23:33财联社来源：科创板日报 《科创板日报》 （上海 ， 采访人员 吴凡）讯 ， 谈起半导体设备——光刻机 ， 可能大部分人的第一反应是全球光刻机的“霸主”ASML（阿斯麦） ， 其在光刻机设备方面已经形成了寡头垄断 ， 2018年全球光刻机市场上 ， ASML的市场占率高达89% 。 相比之下 ， 国内光刻机厂商则显得非常落后 ， 因此一些芯片厂商往往会斥巨资向国外进口设备 ， 比如2018年5月 ， 中芯国际斥资1.2亿美元向 ASML 购买了一台EUV光刻设备 。 但需要注意的是 ， 根据瓦圣纳协议 ， ASML出口EUV到中国需要取得荷兰政府的出口许可 。 为了解决类似这一“卡脖子”的问题 ， 一家来自北京的光刻机生产商正尝试向ASML发起挑战 ， 11月15日 ， 北京证监局披露了“北京华卓精科科技股份有限公司”（以下简称“华卓精科”）的第三期辅导工作报告 ， 公司拟登陆科创板 。 据公司官网显示 ， 其生产的光刻机双工件台 ， 打破了ASML公司在工件台上的技术垄断 ， 目前 ， 已经基本实现了在光刻方面不再受制于人 。 高管背景是清华系 公开资料显示 ， 华卓精科由清华IC装备团队在清华大学及其下属“北京-清华工业技术研究院”和02专项的支持下创立 ， 公司官网介绍称 ， 其建立初衷在于将清华大学在02专项中积累的高端垄断技术落地产业化 ， 通过“技术辐射&下行”的方式 ， 面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品 。 《科创板日报》采访人员了解到 ， 成立至今 ， 华卓精科获得过多轮融资 ， 其中在公司挂牌新三板期间 ， 公司共实施了5次定向增发 ， 合计定增募资总额约为1.42亿元 。 2018年11月5日 ， 华卓精科披露了其挂牌期间的最后一次定增情况 ， 报告显示 ， 华卓精科此次发行对象为浑璞集成电路、浑璞璞玉六号及红星美凯龙（认购金额990万元） ， 拟以每股15元的价格发行股票数量为505.83万股 ， 共募集资金7587.50元 ， 前述资金主要用于公司半导体装备关键零部件研发制造项目、补充流动资金、偿还银行贷款、购买土地使用权 。 2019年2月13日起 ， 华卓精科终止在新三板挂牌 。 天眼查显示 ， 目前公司的股权结构中 ， 公司董事朱煜持股比例37.77% ， 另外朱煜还通过员工持股平台——北京艾西众创科技发展中心（有限合伙）间接持有公司股份 。 采访人员了解到 ， 朱煜为工学博士 ， 清华大学教授 ， 2001年7月至2004年9月在清华大学从事博士后工作 ， 2015年9月起 ， 担任华卓精科董事职务 ， 为华卓精科首席科学家 。 根据华卓精科于新三板挂牌期间披露的2018年半年报 ， 朱煜被认定为是公司实控人 ， 另外 ， 朱煜与徐登峰、、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣等 7 位自然人股东共同签署《一致行动协议》 。 《科创板日报》采访人员梳理发现 ， 徐登峰、、杨开明也均系清华毕业、在公司担任高管 ， 同时均持有公司股份 。 打破掣肘 2018年半年报显示 ， 华卓精科实现营收3193万元 ， 同比增长44.53%；实现归属于挂牌公司股东的净利润683.67万元 ， 同比下滑10.34% 。 相较于经营数据 ， 公司的主营业务更值得关注 。 华卓精科官网显示 ， 公司的主营产品包含高端整机、超精密运动系统、精密仪器设备和高端特种制造等方面 ， 其中光刻机双工件台是公司称作为核心战略产品；其他整机设备包括激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻机；零部件有运动平台、EFEM、静电卡盘、隔振器等 。 《科创板日报》采访人员了解到 ， 光刻机是制造集成电路的核心设备 ， 根据 SEMI 统计 ， 2017 年按全球晶圆制造设备销售金额占比类推 ， 目前刻蚀设备、光刻机和薄膜沉积设备分别占晶圆制造设备价值量约 24%、23%和 18% 。 但光刻机长期被荷兰ASML公司垄断 ， 其生产的最先进的光刻机采用EUV光源 ， 可实现7nm芯片制程的生产 。 根据中银国际发布的研报 ， 2018年全球光刻机市场上ASML市占率89% ， 2019年将继续上升 。 而国内生产光刻机的厂商则“寥寥无几” ， 其中作为国产光刻机的龙头——上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）承担着部分光刻机国产化的重任 ， 有业内人士表示 ， 上海微电子已量产的光刻机中性能做好的是90nm光刻机 ， 但目前公司IC前道光刻机水平与ASML差距明显 。 此外上文也提及到 ， 根据瓦圣纳协议 ， ASML出口EUV到中国需要取得荷兰政府的出口许可 ， 此前中芯国际向ASML购买EUV光刻设备遭禁运的“假消息” ， 也让欲进口光刻机的芯片生产商们惊出一身冷汗 。 毋庸置疑的是 ， 解决我国芯片制造上“卡脖子”的问题 ， 实现光刻机国产化是半导体设备商们的未来发展方向 。 华卓精科官网显示 ， 其生产的光刻机双工件台主要应用于65nm及以下节点的ArF干式、浸没式步进扫描光刻机、KrF步进扫描光刻机 ， 单台系列产品应用于i线、g线步进扫描光刻机及封装光刻机等 。 公司称 ， 其光刻机双工件台打破了ASML公司在工件台上的技术垄断 ， 成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司 。 上述这款产品是否能够撼动ASML公司的市场占有地位？又是否能给光刻机的国产化道路注入“强心剂” ， 随着后续的文件被上交所受理 ， 相关答案将揭晓 ， 《科创板日报》采访人员亦会持续保持关注 。


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