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阿斯麦|ASML工厂探秘：3亿美元一台的EUV光刻机首次亮相

当地时间3月23日， 美国消费者新闻与商业频道（CNBC）发布了针对全球光刻机龙头ASML的采访视频，不仅展示了ASML的EUV光刻机工厂，还展示了ASML新一代高数值孔径 (High-NA) EUV光刻机EXE:5000系列 。
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一、光刻机为何如此重要？
近年来，随着全球数字化、智能化进程的加速，全球对于半导体的需求呈现快速增长的态势 。
根据半导体研究机构IC Insights 预计，2021年全球半导体产值跃升至6140亿美元，同比大涨25% 。2022年全球半导体产值有望达6806亿美元规模，同比将增长11%，创历史新高纪录 。
面对旺盛的半导体需求，目前全球的主要的半导体制造商也在纷纷扩大产能，由此也推升了对于半导体制造设备需求增长 。
根据SEMI的预测数据显示，预计2021年原始设备制造商的半导体制造设备全球销售总额将达到1030亿美元的新高，比2020年的710亿美元的历史记录增长44.7% 。预计2022年全球半导体制造设备市场总额将扩大到1140亿美元 。
半导体制造设备可以分为前道设备和后道设备 。其中，前道制造设备主要包括光刻机、涂胶显影设备、刻蚀机、去胶机、薄膜沉积设备、清洗机、CMP设备、离子注入机、热处理设备、量测设备；后道制造设备主要包括减薄机、划片机、装片机、引线键合机、测试机、分选机、探针台等 。
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有统计数据显示，光刻工艺是晶圆制造过程中占用时间比最大的步骤，约占晶圆制造总时长的40%-50% 。可以说，如果没有光刻机，芯片便无法制造 。
如果以各类晶圆制造设备在产线当中的投资额占比来看，光刻机也是目前晶圆制造产线中成本最高的半导体设备，约占晶圆生产线设备总成本的27% 。
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目前能够制造7nm以下先进制程的EUV光刻机，一台售价约2亿美元，只有ASML一家能够供应，且产能有限 。
可以制造2nm先进制程的ASML的新一代高数值孔径 (High-NA) EUV光刻机EXE:5500的售价将更是高达3亿美元 。
二、光刻机市场的霸主是如何炼成的？
1、诞生
ASML的前身是荷兰电子巨头飞利浦的光刻设备研发部门，曾在1973年成功研发出了新型光刻设备（PAS2000的原型），在整体性能研发方面取得一定成功，但由于成本高昂，且存在一系列技术问题，未能最终推出 。
同时，由于其他设备商在解决接触式光刻机的缺陷问题上用不同的技术路径取得了突破，飞利浦一度计划要关停光刻设备研发部门 。
不过，随后另一家半导体设备厂商ASMI希望与飞利浦合作开发生产光刻机，于是在1984年，双方分别出资约210万美元成立了ASML 。
自2013年起担任ASML的首席执行官的彼得·温宁克（Peter Wennink），虽然早在1999年就加入了ASML，但那已是在ASML成立的15年后 。
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△ASML最初的办公地点
“那时ASML经济困难，没有资金，我们很穷 。因为飞利浦公司太大了，没有人看重这个小公司，他们试图做一些疯狂的事情，所以他们忽略了我们 。”温宁克说到 。
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△彼得·温宁克（Peter Wennink）
在当时的光刻机市场，ASML也还只是一个“无名小卒” 。
资料显示，当时市场主要被美国GCA和日本的尼康所占据，二者分别占据了约30%的市场，Ultratech占比约10%，剩下的市场则被Eaton、P&E、佳能、日立等厂商瓜分，不过他们的份额均不到5% 。
2、发展
尽管如此，在成立的第一年，ASML成功地推出了首款步进式光刻机PAS2000（基于1973年推出光刻设备的进一步完善，飞利浦最初的210万美注资中有180万美元就是用尚未研发完成的PAS2000充当的） 。
不过，PAS2000采用的是油压驱动，技术落后于当时的同行 。
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