IT之家 ASML 全新 EUV 光刻机将于 2021 年中期发货，阿斯麦
IT之家10月15日消息据《科创板日报》 ， 光刻机制造商阿斯麦ASML公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格 ， 这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆 ， 提高了18%的生产率 ， 并改进机器匹配套准精度至1.1纳米 ， 计划于2021年的中期开始发货 。
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IT之家曾报道 ， ASML昨日公布了三季度财报：第三季度销售额为40亿欧元 ， 净利润11亿欧元 ， 毛利率47.5% ， 净利率27.5% ， 第三季度新增订单29亿欧元 。
据外媒报道 ， ASML向客户交付并可确认收入的光刻机达60台 。 其中 ， 14台为极紫外光刻机 ， 较上一季度增加7台 ， 但整体的交付量较上一季度减少了1台 。
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