南方科技君|高端光刻机难不难?美工程师:一个零件我调整了十年( 二 )


【南方科技君|高端光刻机难不难?美工程师:一个零件我调整了十年】更何况 , 研发光刻机我们也不是从零开始 , 上海微电子在今年早些时候已经表态 , 两年内便能下线28nm国产光刻机 , 中科院要做的只是帮助加速过程 , 并提高成果罢了 。 希望中国自研的国产高端光刻机能够早日面世!


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