产业气象站|半导体设备行业研究与投资分析：寻找中国的KLA
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核心内容&投资建议1、广义检测贯穿整个半导体制程 ， 包括第三方实验检测、缺陷检测(DefectInspection)与量测(Metrology)、测试(Test)等 ， 本篇报告重点聚焦在缺陷检测与量测部分 。 KLA-Tecnor为半导体制程中检测设备领域的绝对王者 ， 本文深度分析半导体检测设备市场并借鉴KLA-Tencor的发展历程 ， 梳理国内相关企业进展并给出投资建议 。
2、市场规模&分类:
【产业气象站|半导体设备行业研究与投资分析：寻找中国的KLA】1)芯片制程中检测设备种类多、市场空间大 ， 根据我们测算 ， 预计2020、2021年全球检测设备市场空间约为66.9、73.5亿美元、中国大陆该市场规模约为16.4、17.6亿美元 。 同时我们判断在检测设备中 ， 缺陷检测与量测部分占比分别约为2/3、1/3 ， 则相应2020年全球半导体缺陷检测、量测设备的市场规模约为44.6、22.3亿美元 ， 2021年分别约为49、24.5亿美元中国大陆2020年两者分别约为10.9、5.5亿美元2021年分别约为11.7、5.9亿美元 。
2)制程检测设备有不同的分类方法可以分为:缺陷检测、物性量测光学检测、电子束检测等有图形检测、无图形检、光刻套刻测量等 。
3、市场格局:
1)根据SEMI数据 ， KLA-Tencor在前道全球检测和测量市场中占比过半、稳居行业第一 ， 堪称半导体检测设备领域王者 ， 且在所有半导体设备企业中排名第五其次是应用材料和日立 ， 二者市占率均超过10% ， 前三市占率合计达到75% ， 其他重要企业有Onto(Nanometrics和Rudolph合并而来)、Nova等 。
2)国内半导体检测设备领域 ， 相关企业目前实行自主研发与并购并举的方式进行布局 ， 在部分细分领域已取得较大进展 ， 但整体来看国产化率仍非常低(我们判断在5%以下) ， 可以留给国内企业的市场空间和挑战并存 。
投资建议:
从目前国内主要企业中标情况来看 ， 量测部分(如膜厚测量等设备)已有部分企业能够中标长存等 ， 但缺陷检测部分中标非常少 。
赛腾股份(Optima)主要产品为缺陷检测设备 ， 客户为韩国日本等大型晶圆、芯片制造企业 ， 国内是其未来重点拓展领域 ， 目前国内既有客户包括新晟、中环、奕斯伟等 ， 未来有望通过扩充产品线、国产化进程加快等方式进入更多客户 。
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