华为强势挖角 5nm 光刻机两年内量产？细思恐极( 二 )
△以长江存储 2017Q4-2019 年招标设备中标数据作为参考（长江存储已量产的 64 层 3D NAND 采用的是应该是 38nm 制程）另外 ， 在半导体制造的核心设备——光刻机市场 ， 目前全球光刻机市场主要被 ASML、佳能以及尼康所垄断 ， 这这三家供应商占据了全球 99% 的市场 。 其中 ASML 在高端市场一家独大 ， 且是全球唯一的 EUV 光刻机供应商 。而中国的国产光刻机厂商上海微电子目前最先进的还是 90nm ， 其传闻中的 28nm 光刻机等到 2021-2022 年才能交付 。 但是要想造出能够生产华为目前所需的 7nm/5nm 制程芯片的光刻机 ， 则更是困难重重 。三、华为自研 5nm 光刻机 ， 两年内量产？7 月 21 日 ， 网上出现了两则关于华为将自研光刻机的传闻 。一则是微博上一位数码博主发布传闻称 ， 华为成立了光刻机部门 ， 将自研光刻机 ， 前期评估 5nm 光刻机将两年内投入量产 。 （这里所说的 5nm 光刻机 ， 指的是能够生产 5nm 芯片的光刻机）
另外一则传闻则称 ， 华为集合了数万人 ， 封闭研发 ， 每天工作 12-16 小时 ， 争取两年内实现 14nm 光刻机的导入 。
这两则传闻乍一看确实挺令人振奋的 。 但是实际上这两则传闻确实非常的夸张 ， 可信度很低 。 特别是第一则传闻 ， 更是扯淡 。而之所以有这样的传闻 ， 则可能与近日网上曝光的华为招聘 " 光刻工艺工程师 " 的招聘信息有关 。
但是 ， 如果仔细看招聘信息的内容的话 ， 可以看出 ， 这个 " 光刻工艺工程师 " 职务要求主要还是与芯片制造相关 ， 跟研发光刻机没半毛钱关系 。1、华为 2016 年就开始研发光刻机了？不过 ， 今天倒是有网友翻出了华为在 2016 年申请的一项名为 " 一种光刻设备和光刻系统 " 的 PCT 专利 。 由此也使得很多网友认为 ， 华为可能早在 2016 年就已经开始研发光刻机了 。
▲图片来源：@数码兽但是 ， 即使 2016 年华为有申请与光刻机相关的专利 ， 也并不代表当时华为就已经开始自研光刻机 ， 这完全是两个概念 。 因为有些时候一个不错的想法就能够去申请专利 ， 但是从专利到实际的设备 ， 还差着十万八千里 。此外 ， 我们通过查询相关资料发现 ， 这项名为 " 一种光刻设备和光刻系统 " 的 PCT 专利的发明人弗洛里安 · 朗诺斯似乎也并不光刻机技术方面的专家 。 因为 ， 除了 2016 年的这项与光刻机相关的专利之外 ， 弗洛里安 · 朗诺斯自 2017 年以来作为发明人的由华为申请的专利则全部与内存及存储技术相关 ， 再也没有了与光刻机相关的专利 。
同样 ， 我们通过度衍专利检索平台 ， 以 " 光刻 " 二字作为关键词 ， 检索华为在国内已公布的所有相关专利 ， 但是很遗憾 ， 只有前面那一项名为 " 一种光刻设备和光刻系统 " 的专利 。
此外 ， 我们也登陆了欧洲专利数据库（espacenet.com）以 " 光刻 "（ photoetching）作为专利的标题或简介的关键词 ， 检索了华为所有在欧洲专利局注册的专利 ， 虽然有返回两个结果 ， 但是实际上也与光刻机没有任何关系 。
此外我们还检索了 photolithographic process、photolithography 等关键词 ， 也是一样没有发现一件与光刻机研发相关的专利 。显然 ， 如果华为早在 2016 年就已经开始自研光刻机的话 ， 那么这四年来必然会在国内外申请一系列与光刻机相关的技术专利 ， 但是很可惜 ， 自始至终也只有前面提到的那一项专利 。所以 ， 基本可以肯定 ， 华为在今年之前并未真正展开过对于光刻机的研发 。作为对比 ， 我们可以来看看 ASML 和上海微电子的相关专利数据 。根据公开的信息显示 ， 截至 2018 年初 ， ASML 在全世界范围内约有 12000 件专利和专利申请 ， 在中国的专利申请达到 1326 件 。 并且几乎所有的专利集中在光刻机及其零部件上 。 而 ASML 当时的员工就有 160000 人 ， 其中大部分都是研发人员 。 这也足见先进光刻机研发需要的人才投入 。至于上海微电子 ， 目前员工数量大概在 1000 人左右 ， 截止 2020 年 5 月 ， 上海微电子 ( SMEE ) 所持有的各类专利以及专利申请数量已经超过 3632 项 。 但是与 ASML 相比仍是差距巨大 。2、EUV 光刻机的研发到底有多难？前面我们提到 ， 目前全球光刻机市场 99% 的市场都被 ASML、尼康和佳能这三大巨头所占据 。 而这个市场格局是经过了数十年市场竞争才最终形成的 。早在 1970 年 ， 佳能就推出了首款半导体光刻机 PPC-1 ， 今年是这款光刻机发售 50 周年 。 1980 年代 ， 尼康也开始进入半导体制造领域 ， 至今也有了 40 年的光刻机研发历史 。 现在光刻机市场的老大 ASML 在 1984 年就成立了 ， 至今也有了 36 年光刻机研发历史 。
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