IT之家|NMC612G 12 英寸金属刻蚀机，北方华创正式推出
IT之家6月29日消息在2020年SEMICONCHINA展览会上 ， 北方华创正式发布了NMC612G12英寸金属刻蚀机 。 官方介绍 ， 该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力 ， 可满足集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求 。
【IT之家|NMC612G 12 英寸金属刻蚀机，北方华创正式推出】NMC612G12英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机 ， 具有多种均匀性控制手段 ， 如电流分布控制技术、气体比例控制技术、静电卡盘温控技术等 ， 为客户提供了多种均匀性调节选择 ， 拓宽了工艺空间 。 其中 ， 静电卡盘及传输系统不但适用于常规硅片的传输 ， 也适用于不同领域的玻璃片、SOG片等晶圆的传输及吸附 ， 可多元化满足各领域多种需求 。 此外 ， 针对刻蚀后残留气体导致的金属腐蚀问题 ， 该设备采用微波去胶技术 ， 利用O2产生等离子体 ， 可以较高的速率实现不同金属刻蚀后PR掩膜的去除 ， 并保证金属长期存放过程中不被腐蚀 。
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IT之家了解到 ， 目前NMC612G金属刻蚀机已经成功进入集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的多家生产线 ， 其良好的工艺性能和更低的拥有成本 ， 正在助力客户大规模量产 。
扩展阅读：
《大国重器之国产刻蚀机：中国芯片燎原火》
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