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我们造出自己的高端光刻机还有多远？

比原子弹还难？我们造出自己的高端光刻机还有多远？分享到： 乌鸦校尉•作者：乌鸦校尉对于中国来说 ， 哪怕一件事再难 ， 我们也要做 ， 这不是我们非要逼自己 ， 是敌人非要逼我们 。 中国如果不做自己的光刻机 ， 类似买一台机器三年都到不了货的事情还会无数次地发生 。乌鸦校尉作品首发于微信号 乌鸦校尉微信ID：CaptainWuya前段时间 ， 光刻机设备供应商ASML的首席执行官Peter Wennink ， 在谈到给中国供货的话题时 ， 说他觉得向中国交付光刻机没有什么问题 。不用担心中国会复制出高端光刻机 ， 因为高端EUV机器永远不能被复制 ， 另外中国也有很好的规定保护知识产权 。他们和中国合作已经有30年了 。我们造出自己的高端光刻机还有多远？
他还特意解释了为什么他不害怕中国会模仿出光刻机：“这是因为我们是系统集成商 ， 我们将数百家公司的技术整合在一起 ， 为客户服务 。这种机器有80000个零件 ， 其中许多零件非常复杂 。以蔡司公司为例 ， 为我们的生产镜头 ， 各种反光镜和其他光学部件 ， 世界上没有一家公司能模仿他们 。 ”另外 ， 中国复制光刻机没有好处：“永远都不可能秘密进行这种操作 ， 必须要涉及很多专家 。 假设他们成功了 ， 他们将给市场带来很多无法追踪来源的芯片 ， 而最终曝光 。我们总是关注着市场的动态 ， 我们当然也会熟悉我们的产品出口的每个国家的知识产权法律 。中国也有良好的规定 ， 即使只是为了保持自己的领先地位 ， 例如在5G移动通信领域 。 这些规定也适用于我们的机器 。 ”其实 ， 他这话是说给美国听的 ， ASML一直想把光刻机卖给中国 ， 但是在美国的施压下 ， 荷兰政府把EUV的机器出口中国许可证给扣了 。美国人的说法还是老一套 ， 这是战略产品 ， 出口后可能会被中国窃取！ASML总裁这个表态 ， 很有针对性地回复了美国的所谓“担忧” ， 就是明明白白地表示这个光刻机他想卖 ， 非常想卖 ， 让美国别卡了 。我们造出自己的高端光刻机还有多远？
ASML执行官没有乱说 ， 在很多人眼里 ， 似乎光刻机就是他们一家公司就掌握了全部的核心技术 。但实际上 ， 在ASML独步天下的背后 ， 是全人类科技的结晶 ， 无数家相关领域顶级公司的鼎力支持 ， ASML是众星拱月的那个月亮 ， “俺们村希望” 。1早年的光刻机 ， 其实并不是什么高科技 ， 干这行的公司不在少数 。当时的光刻机 ， 远不是现在的“印钞许可证” ， 而是属于小众“玩具” ， 一年能卖个几十台就很不错了 ， 而且门槛也没多高 ， 所以从事这个行业的人寥寥无几 ， 因为赚不到多少钱 。由于技术含量不高 ， 每个做半导体的厂商 ， 都有自己的一套方法 ， 比如英特尔 ， 就是自己买摄像机 ， 再把镜头拆下来用 。当时 ， 美国的光刻机有三雄 ， GCA ， P&E和Ultratech 。这三家各有特别之处 ， 比如P&E推出的投影式光刻机 ， 和GCA推出的自动化步进式光刻机 ， 都具有跨时代的意义 。我们造出自己的高端光刻机还有多远？
但是 ， 那个年代的主角 ， 注定不是美国公司 ， 而是日本公司 。光刻机的原理其实说来很简单 ， 就是做起来难 ， 先在半导体材料的表面 ， 覆盖一层有着高度光敏感性的光刻胶 。接下来 ， 光线通过掩模 ， 照射在材料的表面 。被光线照射到的光刻胶 ， 就会发生反应 ， 类似于在纸上烫一个点 。这个过程 ， 就是光刻 。接下来 ， 再在没有光刻胶保护的部分进行刻蚀 ， 再把其余的光刻胶洗去 ， 就完成了一个芯片的基本制作过程 。概括一下就是 ， 光刻机就像一个大型的照相机 ， 半导体材料就像底片 ， 图案经过光刻机后 ， 咔嚓这么一照 ， 微缩投射到底片上来 。我们造出自己的高端光刻机还有多远？
80年代 ， 是日本半导体最辉煌的年代 ， 任何领域都至少有一家日本公司在做 。而光刻机领域 ， 日本的代表是尼康和佳能 ， 确实都和照相机有关系 。但当时佳能的照相机业务比光刻机赚钱多了 ， 所以一开始对光刻机一直不太上心 ， 主力是尼康 。我们造出自己的高端光刻机还有多远？
那时候的日本半导体行业非常团结 ， 实力也极为强悍 ， 彼时的NEC和东芝就如同今天的英特尔和三星 。前有尼康和佳能搞光刻 ， 后有东京电子、日立等等一系列配套厂商在后面做支持 ， 他们的技术是突飞猛进 。而美国GCA的镜片来自德国蔡司 ， 一个经验非常老到的公司 ， 可GCA和蔡司二者的合作不和谐 ， 每次都得谈半天 ， 导致GCA产品更新的速度一直跟不上尼康 。半导体市场是有限的 ， 一旦你的技术落后了 ， 为了产品能比别人卖得好 ， 大家都愿意买更先进的机器 。我们造出自己的高端光刻机还有多远？
尼康就这样 ， 从GCA手中把一个个大用户抢了过来：IBM、英特尔、AMD……尼康的另一个美国对手P&E ， 市场份额从超过30%到连连下跌 ， 跌到不足5% ， 直到最后完全放弃半导体设备业务 。节节胜利的尼康甚至直接在美国科技心脏地带硅谷成立尼康精机 ， 飞龙骑脸 。一直到2000年左右 ， 光刻机市场一直都是尼康独步天下 。


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