泵友圈|荏原水泵技术在半导体产业应用( 二 )
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晶圆清洗
晶圆处理制程是半导体生产流程中技术最复杂且资金投入最多的环节 ， 而晶圆清洗在晶圆处理制程中起到至关重要的作用 。
由于集成电路内各元件及连线相当微细 ， 因此制造过程中 ， 如果遭到尘粒、金属的污染 ， 很容易造成晶片内电路功能的损坏 ， 形成短路或断路等 ， 导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成 。
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因此在制作过程中除了要排除外界的污染源外 ， 集成电路制造步骤如高温扩散、离子植入前等均需要进行湿法清洗或干法清洗工作 。 另外 ， 清洗剂因PH值不同对泵的要求也有差异 ， 荏原丰富的泵产品既可满足纯水的传输要求 ， 也可应对一般酸碱性介质 。
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废水处理
半导体的制造工厂包含上百个生产工艺 ， 其产生的污水种类较多 ， 对泵的耐腐蚀性有很高的要求 。 从一般性酸碱污水到研磨废水 ， 荏原均有满足客户需求的高品质产品 。 荏原除了耐腐蚀性金属泵之外 ， 其领先的树脂水泵在应对强酸强碱类介质方面拥有优异表现 。
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当前 ， 荏原机械已经成功助力多家国内外半导体行业巨头的生产建设 ， 在行业中具有很高的声誉及竞争力 。
未来 ， 荏原机械将紧随中国半导体行业的发展步伐 ， 从整个产业链中寻求合作机会 ， 同时不断推出“稳定、高效、长寿命”的产品 ， 为中国半导体事业的发展贡献一份力量 。
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相关荣誉
2009年全球最大的芯片代工企业台积电高级副总裁及CIO Stephen Tso授予荏原最优秀产品奖 。
2019年美国英特尔公司授予荏原公司Supplier Achievement Award ， 简称：SAA
该奖章是英特尔公司授权在其重视领域取得卓越业绩的供应商企业 ， 以表彰该企业在业界发挥的重要领导作用
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【泵友圈|荏原水泵技术在半导体产业应用】
