在一般情况下,质量流量控制器和质量流量计的单位都是以sccm(毫升/分钟)和slm(升/分钟)表示;s代表stand,指标准状况下;cc指毫升;l指升 , m代表minute,指分钟 。其实这就意味着,流量控制器在不同的使用条件下,指示的流量全都是标准状态下的流量 。
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【热式气体质量流量计的种类,热式气体质量流量计说明】成都松盛测控技术有限公司推出的质量流量控制器和质量流量计在行业多年 , 成都松盛测控一直秉承务实、求真、敬业的状态专注于气体质量流量的测量及控制 。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K) 。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方 。
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而对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑也便于使用 , 但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min或者g/h),这个要求是很容易实现的 。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到 , 因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现 。所以说,在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量 。
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