经过20年开发,MEMS射频开关有望走向手机


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来源:内容转载自公众号「悦智网 」 , 作者:Glenn Zorpette , 谢谢 。
射频微机电系统实现“理想开关” 。
20年前 , 射频电路的专业工程师设想了一种“理想开关” 。 这种开关在“接通”时的电阻非常低 , 在“断开”时的电阻非常高 , 它体积小巧、速度快 , 便于制造 , 能够切换相当大的电流 , 可以耐受数十亿次开关转换 , 开关只需很少的电力 。 它还能毫无失真地传导数十至数百千兆赫的信号(近乎完美的线性度) 。
这并不是空想 , 这一大型新兴产业市场已准备就绪 。 伴随微机电系统(MEMS)持续取得突破性进展 , 美国和欧洲的大型项目如雨后春笋般涌现 。 很多项目都得到了美国国防部高级研究计划局(DARPA)或欧盟卓越网络(European Union Network of Excellence)的资助 。 进入21世纪后 , 经过长时间且动荡的技术开发之后 , 现在 , 射频微机电系统(RF MEMS)开关终于要走向商业成功了 。
在美国 , 有两家公司可能会快速发展并在竞争激烈的市场中站稳脚跟 。 其一是通用创投的子公司Menlo Micro , 位于加州尔湾市 。 该公司的联合创始人兼高级副总裁克里斯?乔瓦尼埃洛(Chris Giovaniello)表示 , 他们在航空航天业、军事和无线网络基础设施行业有30多个客户 。 同时 , 硅谷还有一家名为Cavendish Kinetics的公司 , 该公司致力于开发用于智能手机的RF MEMS开关 。 2019年10月 , 该公司被无线设备和系统(很多都用于智能手机)的领先制造商Qorvo公司收购 。 虽然有关收购的具体条款并未公布 , 但Cavendish公司已在至少三轮融资中筹集了超过5800万美元的资金 。
这一成功经历了漫长而动荡的时光 , 其间时而希望高涨 , 时而希望渺茫 。 “许多公司都进行了尝试 , 只有这两家公司成功了 , 它们很幸运 。 可能有20家公司都失败了 , 这就是现实 。 对于科技创业公司 , 10%的成功率是很正常的 。 ”RF MEMS研发先驱、加州大学圣地亚哥分校的电气工程学教授加布里埃尔?雷贝兹(Gabriel Rebeiz)说 。
新设备结合了机电继电器开关的最佳功能(超低电阻和漏电电流以及非常高的线性度)与半导体开关的一些优点(体积小、可靠性非常高 , 坚固耐用) 。 从概念上说 , 这种设备与继电器开关类似 。 在操作中 , 静电力将导电梁(也称为执行器或悬臂)拉向电触点 。 继电器的动作是由电磁体触发的 , RF MEMS开关则不同 , 它使用50至100伏的直流电压来产生静电场 , 将导电梁拉至电触点 。 由于电场是静态的 , 因此电流和功耗非常低 。
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乔瓦尼埃洛说 , 最难的技术挑战是找到一种可承受数十亿次反复弯曲的导电合金 。 他说:“真正的问题是执行器 , 为了解决这个问题 , 通用公司付出很大努力来开发合金 。 我们已经开发了一些高导电性的专有合金 , 这些合金非常适合继电器 , 但是其机械强度极高 , 非常像多晶硅 。 ”
他补充说:“几十年来 , 通用公司在用于喷气发动机的合金方面做了很多工作 , 实际上 , 正是其中一些人帮助我们解决了一些基本的可靠性问题 。 ”Menlo公司尚未透露其合金的成分 , 但是 , 大约5年前通用和Menlo公司的工程师所撰写的研究论文表明 , 他们当时正在分别研究镍合金和金合金 。
与此同时 , Qorvo公司则正在以智能手机内部的应用为目标(Menlo Micro也是如此) 。 Qorvo的技术开发总监朱里奥?科斯塔(Julio Costa)说 , 每年智能手机的成交量约为15亿部 , 这是一个巨大的市场 , 对器件的要求也极为严格 。 “手机是人们日常生活中的重要组成部分 , 因此 , 如果(新器件)不可靠 , 就无法使用 。 ”


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