ASML发布新一代光刻机公布第三季销量卖了60台
今天 ， 荷兰ASML（阿斯麦）公布了光刻机产品的最新进展 。 其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统 ， 终于敲定最终规格 。具体来说 ， 30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆 ， 提高了18%的生产率 ， 并改进机器匹配套准精度至1.1nm 。3600D定于2021年中旬出货交付 ， 客户还需要一定时间等待 ， 价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元 。目前 ， ASML已经投产的最先进光刻机是3400C ， 但主力出货型号是3400B 。 参数方面 ， 3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2 ， 每小时可曝光125片晶圆 。另外 ， ASML透露3400B在三季度也完成了软件升级 。 全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i已经在三季度结束验证 ， 四季度早期开始正式出货 。
另外 ， ASML（阿斯麦）还公布了截止9月30日的三季度财报数据 。 当季销售收入为40亿欧元 ， 净利润高达11亿欧元（约87亿元） 。 2020年前三季度 ， ASML总共实现净销售额97.24亿欧元 ， 较去年同期77.83亿欧元提高近25%；净利润22.03亿欧元同样大幅提升51% 。
ASML预估四季度的收入在36到38亿欧元 ， 毛利率50%左右 ， 2020全年的营收应该至少能达到133亿欧元 。据悉 ， 当季ASML共获得60台光刻机的销售收入 ， 总额31亿欧元 ， 其中EUV光刻机14台 ， 但收入占比达到了66% ， 粗略算了下 ， 一台EUV光刻机大概是1.46亿欧元（约11亿元） 。地区方面 ， 中国台湾贡献了光刻机收入的47% ， 看来台积电支付了一大笔EUV机器的货款 。 韩国厂商贡献了26% ， 中国大陆企业贡献了21% 。另外 ， 当季ASML还接到了累计29亿欧元的新订单 ， 并出货了10台EUV光刻机 ， 型号以3400B为主 。展望2021年 ， ASML表示谨慎乐观 ， 并给出较低两位数的预期收入增长判断 。
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