单叔叔科技|ASML阵脚乱了，外媒传来消息！中科院入局光刻机后
随着华为事件的持续发酵 ， 我们逐渐意识到 ， 除了芯片之外 ， 与芯片密切相关的芯片制造设备也同样重要 ， 其中起到关键作用的就是光刻机 。
只是因为 ， 光刻机不仅是芯片制造设备中最复杂、最精密的设备 ， 其中光刻机还决定了一款芯片可以达到的工艺水平 。
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之所以我们现在经常可以听到一种叫做EUV型的光刻机 ， 就是因为在7纳米之后 ， 之前的DUV型光刻机已经达到了工艺水平的极限 ， 之后的工艺水平就必须要对光刻机进行更新换代 。
目前全球只有荷兰ASML一家公司可以生产EUV型光刻机 ， 所以我们也就可以理解 ， 前段时间中科院表示 ， 要将一批卡脖子的清单变成科研清单 ， 其中就包括光刻机 ， 而从中我们也能看到 ， EUV光刻机对荷兰之外的所有国家都可以说是一个“卡脖子”的技术 。
虽然ASML目前是唯一的可以生产EUV光刻机的厂家 ， 但ASML在EUV型光刻机上就真的实现技术的所有突破了吗？事实上并没有 。
其实EUV型光刻机早就已经出现了 ， 只不过一直没有达到可以为代工厂商用的水平 ， 问题的关键 ， 就是光刻机提供的产能性能无法达到要求 。
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【单叔叔科技|ASML阵脚乱了，外媒传来消息！中科院入局光刻机后】这又是为什么呢？例如在2014年 ， ASML推出的实验室条件下的EUV光刻机 ， 其产能只有每小时10片晶圆 ， 很显然这样的量产实力 ， 根本无法让台积电等芯片代工厂为客户提供充足的产能 ， 而且毫无疑问的是 ， 成本将会非常高 ， 这样制造出的芯片也无法得到市场的接受 。
直到2017年 ， ASML推出3400B型光刻机后 ， 产能达到了125片晶圆每小时 ， 才算是得到了可商用的门票 。
但在之后的2019年 ， ASML其实还继续推出了一款二代机 ， 它就是3400C ， 然而这款机型只是一个小幅的升级款 ， 从客户的订单数量来看 ， 出货的主力依然是3400B 。
相信近日大家也注意到 ， 三星副会长李在镕亲自到访了ASML总部 ， 当时媒体方面也并没有报道出 ， 李在镕此行的具体目的 ， 只是猜测与EUV光刻机应该有关 。
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现在韩国媒体已经报道确认了此事 ， 李在镕此行就是了督促ASML ， 加快速度 ， 尽快的将三星电子订购的9台EUV光刻机实现交货 。
很显然 ， 三星方面是着急了 ， 然而巧合的是 ， ASML方面近日也向外界传出了一个新消息 ， 那就是ASML的三代机即将上市 ， 它就是3600D ， 预计是在2021年中期 ， 但提供的产能也只比上一代产品提升了18% 。
因此我们就看到 ， 尽管这款新品距离上市还有较长的一段时间 ， 但是这款产品依然算是一个小幅升级款 ， 然而之前的3400C已经被市场证明 ， 客户对这种小幅升级款并不感冒 。
其原因在于 ， 产能的提升很有限 ， 但是价格方面肯定是要更贵的 ， 而且由于一代机3400B自然生产水平更加成熟 ， 在产能数量上就更有保证 ， 所以3400B更受欢迎也就在情理之中 。
既然有了3400C的教训 ， 为何还要急于推出这种升级幅度不大的产品呢？而且这么早就宣布了这样的消息？
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不得不说 ， 中科院的入局 ， 让ASML也感到了一定的压力 ， 或许大家并不是对光刻机很了解 ， 在影响光刻机的工艺水平上 ， 上面我们提到了 ， 有DUV和EUV的区别 ， 这主要是指的光源部分 。
EUV的光源波长可以做到13.5纳米 ， 而成熟的DUV光源主要是采用的193纳米 ， 波长越短工艺水平就越高 。 此外 ， 物镜的数值孔径也是影响因素之一 ， 数值越大同样就可以保证光刻机可以提供的工艺水平越先进 。
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