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家族战队|MEMS加速度计可靠性值得关注，Z轴粘连问题何解？( 三 )


8月14日至16日 ， 由麦姆斯咨询主办的『第24期“见微知著”培训课程：MEMS技术进阶』将在无锡开课 ， 其中邀请了东南大学王磊老师讲解MEMS可靠性分析内容 。
课程：MEMS可靠性分析
讲师：东南大学 副研究员 王磊MEMS器件的机械结构由微米/纳米材料制备而成 ， 其中薄膜材料的使用最为频繁 。 评价这些材料的力学性能对MEMS器件实用化有着显著的意义 。 随着技术的发展 ， 薄膜材料在越来越多的机械结构中得到应用 ， 其力学和机电性能对MEMS器件的工作特性都会产生显著影响 。 因此很有必要像测量半导体器件电学特性那样精确测量薄膜的力学性能 。 王磊博士在MEMS可靠性分析方面拥有多年的实战经验 ， 将带领学员认识常见的失效模式及机理 ， 并通过经典案例分析来讲解MEMS结构和工艺的可靠性问题 。 课程大纲：（1）MEMS可靠性导论；（2）MEMS材料力学性能评价及评价标准；（3）常见MEMS失效模式及失效机理；（4）MEMS可靠性测试及分析技术；（5）MEMS结构和工艺的可靠性问题；（6）MEMS可靠性分析案例 ， 如加速度计、陀螺仪、微镜 。
王磊 ， 博士 ， 2012年获东南大学电子科学与工程学院工学博士 ， 现任东南大学副研究员 。 他长期从事MEMS器件可靠性工作 ， 承担和参与了多项国家科研项目 ， 包括“十一五”、“十二五”、“十三五”的装发预研项目 ， “十二五”重大专项 ， 国家自然科学基金项目 ， 以及多项企业横向合作项目 。 主持制定了多项企业MEMS可靠性标准 ， 并牵头协同了国内11家企事业单位共同起草了GB/T 38341-2019“微机电系统（MEMS）技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法”国家标准 。
此外 ， 我们还邀请了上海微系统所焦继伟老师讲解惯性MEMS技术 。
课程：惯性MEMS
讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究员 焦继伟
消费电子和汽车电子是惯性MEMS传感器的两大重要应用市场 ， 组合式惯性传感器是其中的增长引擎 。 而对于高端惯性传感器 ， 虽然国防和商用航空航天领域是该市场的支柱 ， 但随着工业物联网（IIoT）、机器人及微型卫星等应用的高速发展 ， 工业领域已一跃成为驱动该市场蓬勃成长的关键因素 。 本课程在梳理惯性MEMS传感器的基础知识、设计要点及典型案例的同时 ， 帮助学员分析组合式惯性传感器 ， 了解高精尖惯性传感器 ， 从而掌握惯性MEMS关键技术！
课程大纲：
（1）惯性MEMS概念、典型器件（加速度计、陀螺仪）及工作原理；
（2）开环/闭环MEMS加速度计的检测方式、设计要点、制造、封测及闭环加速度计典型应用案例；
（3）MEMS陀螺仪的驱动/检测方式、设计要点、制造、封测及高性能陀螺仪典型设计案例；
（4）组合式惯性传感器技术发展趋势及设计要点；
（5）MEMS晶圆级封装技术在惯性传感器领域的应用及挑战；
（6）新材料（如PZT压电材料）和新工艺在惯性传感器的应用；
（7）全球高精尖惯性传感器产业现状及主要供应商；
（8）全球主要惯性传感器MEMS代工厂和封测厂；
（9）国内惯性传感器产业发展的应对策略 。
焦继伟 ， 麦姆斯咨询2019年度“最受欢迎讲师” ， 中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员 。 他生于1968年 ， 江苏无锡人 。 1989年毕业于浙江大学物理系 ， 1994年于中科院上海冶金所（现上海微系统所）获半导体物理与器件专业博士学位 。 作为主要成员参与国家“八五”攻关项目等课题的科研工作 ， 在低温硅固相键合技术上取得突出成果 ， 处于当时国际先进水平 。 1996年至2002年 ， 分别于荷兰Delft Univ. of Technology、日本三菱电机株式会社先端技术研究所工作 ， 主要从事MEMS技术、车用微型惯性传感器（角速度和加速度）的开发和量产化工作 ， 以及面向机载APAA的RF MEMS模块的研究 。 开发出硅－玻璃键合衬底上高深宽比的微机械结构的无损释放技术 ， 实现高成品率的微惯性器件；研制出全单面工艺的Grounded Cavity结构的低插损RF MEMS器件和模块 。 2002年回国 ， 任中科院上海微系统所研究员、博导 ， 自2008年起任传感技术国家重点实验室副主任 。 目前 ， 主要从事惯性器件、MEMS/NEMS技术等相关研究 ， 回国后先后承担多项国家863、973课题等 。 已发表SCI/EI论文50余篇 ， 申请及获得授权国际、国家发明专利10余项 。


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