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|国产MEMS品牌正崛起 西人马凭何立足MEMS传感器市场？( 二 )


|国产MEMS品牌正崛起 西人马凭何立足MEMS传感器市场？
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左：ASML光刻机 右：涂胶机
接下来 ， 采访人员跟随工作人员来到黄光车间 ， 该车间完全采用黄色光源 ， 以减少照明对光刻生产的影响 。光刻是平面型晶体管和集成电路生产中的核心工艺 ， 可以将芯片设计的图形转移到衬底表面 。光刻机的解析度直接决定了芯片可以做到的尺寸 ， 是整条工艺线的重要指标 ， 这与晶圆的集成度大小直接关联 。
相较于国内其他MEMS企业 ， 西人马的光刻技术处于较先进的水平 。据了解 ， 西人马公司近期引进了ASML光刻机以及日本的自动涂胶机和显影机 。自动涂胶机的作用是将光刻胶均匀涂到晶圆表面上 ， 以方便后面的曝光显影 。而光刻机是将涂完胶的晶圆通过曝光将掩模版上的图形转移到WAFER表面 。最后经过显影 ， 在Wafer表面形成最后的图形 。
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键合机
而键合作为MEMS芯片工艺中的一项重要封装技术 ， 是实现芯片与环境之间的有机交互与隔离 ， 从而在保证芯片功能实现的情况下 ， 起到保护芯片、提高可靠性的作用 。目前西人马车间内主要用到两种技术 ， 一种是阳极键合 ， 另一种是硅硅键合 。阳极键合是把玻璃跟硅结合在一起的一种技术 ， 而硅硅键合技术即在高温条件下将硅与硅直接结合在一起的一种技术 。压力芯片依据使用的温度条件或压力要求会选用合适的键合方式 。
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扫描电子显微镜（SEM）
此外 ， 西人马还加强了对产品质量的管控 。西人马利用扫描电子显微镜(SEM)对MEMS器件关键工艺的微观形态进行测试、分析 ， 实现SEM对MEMS的有效测量和工艺验证 。在质量车间 ， 扫描电子显微镜（SEM）通过高电压释放电子束去扫描物体表面的形态 ， 检测膜层形貌、厚度和表面高度 ， 其放大倍率可以达到百万级别 ， 然后通过连接EDS可以检测物体表面的元素成分及含量 。
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原子力显微镜（AFM）
而原子力显微镜（AFM）是利用微悬臂系统和放大臂上面的细小探针与被测物体之间的原子相互作用来进行检测 ， 它的分辨率可以达到原子级别 。
除了先进的MEMS芯片制造工艺外 ， 芯片产能也有大幅度提升 。据西人马芯片车间负责人介绍：“芯片共有光刻、薄膜、扩散、刻蚀和封装5个车间 ， 一天的产能可以达到20万个传感器芯片 。”
通过参观了解 ， 西人马公司具备完善的芯片制造设备、检测设备和完整的传感器封装及测试设备 ， 拥有芯片的加工能力以及传感器性能与可靠性检测能力 ， 可以为全球客户提供OEM和ODM服务 。
严守产品质量关
西人马作为一家具备芯片和传感器材料合成、芯片设计、制造、封装和测试全方位能力的公司 ， 其研发人员90%以上为硕博士 。高层次的人才、先进的设备、严谨的工艺流程和严苛的生产标准保证了西人马公司产品的优异性能 。采访现场的产品测试也验证了西人马公司自主研发产品的可靠性 。
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西人马质量总监Dr.Xu


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