像梦一样奔驰|打破ASML在此技术上的垄断，华卓精科掌握双工件台设备核心技术
随着美国对华为芯片制裁的深入 ， 不少国民提高了对国内芯片产业的关注度 。 尤其是对于光刻机 ， 更是获得了极高的讨论热度 ， 当前高端芯片的生产 ， 光刻机是其中的关键设备 。 由于美国的干预 ， 我国企业也迟迟得不到该设备 ， 这也导致了我国企业在芯片生产的环节大大受阻 。
生产光刻机的企业并非ASML一家 ， 但是能够生产出高端光刻机的企业 ， ASML基本上是一家独大 。
近日 ， 我国的华卓精科公司 ， 已经成功打破了ASML在工件台设备上的技术垄断 ， 掌握了双工件核心技术 。 虽然华卓精科并不生产光刻机 ， 但华卓精科是光刻机核心零件的供应商 ， 而此次 ， 双工件台设备这一光刻机的重要组成部分 ， 已经达到了世界先进水平 。 不要小看这一设备 ， 研制难度也是非常高的 。
【像梦一样奔驰|打破ASML在此技术上的垄断，华卓精科掌握双工件台设备核心技术】前段时间 ， 上海微电子公司实现了28nm光刻机的研发与生产 ， 如今华卓精科在双工件台设备上的突破 ， 两者合作 ， 上海微电子光刻机可直接改用套刻精度更高双工件台设备 ， 国产光刻机的工艺会有很大的提升 。
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