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|DLC真空膜普及与应用( 二 )


光学应用金刚石、类金刚石薄膜主要采用低压化学汽相沉积（CVD）技术制备 。低压CVD技术包括热丝CVD法、等离子体CVD法、离子束蒸镀法、光/激光CVD法附加活性氢激光CVD法等


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