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手机中国联盟美国重重包围下，国产半导体设备替代之路还有多远？( 二 )


【手机中国联盟美国重重包围下，国产半导体设备替代之路还有多远？】虽然中国市场备受关注 ， 但北方华创科技集团股份有限公司董事长赵晋荣也指出 ， 与国外相比 ， 中国的设备产业仍有很长的路要走 。
近年来 ， 国家也加大了对半导体设备的投入 。 特别是成立于2019年10月的大基金二期项目 ， 将重点向设备和材料领域倾斜 ， 大基金管理人特别强调二期基金将对在刻蚀机、薄膜设备、测试设备和清洗设备等领域已布局的企业保持高强度的持续支持 ， 推动龙头企业做大做强 ， 形成系列化、成套化装备产品 。
另一方面 ， 国产半导体设备厂商也在奋力寻求突破和成长 。 在这过程中也涌现出了一批有潜力的本土半导体设备厂商 ， 包括中微公司、北方华创、北方华创、盛美半导体、上海微电子等 ， 他们也将成为中国半导体设备国产化率提高的希望 。
下面我们看看其中一些公司的情况：
中微公司：公司主营业务聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售 。
2018年底 ， 中微公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证 ， 性能优良 ， 将用于全球首条5纳米制程生产线 。 刻蚀机是芯片制造的关键装备之一 ， 中微突破关键核心技术 ， 让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队 。 2019年7月中微公司在科创板上市 。
产品方面 ， 公司产品性能突出 ， 刻蚀设备和MOCVD设备已达到国际先进水平甚至是优于国际水平 ， 并且产品覆盖不同的下游半导体应用市场 ， 可以较好的应对下游投资波动过大对公司业绩带来的影响 。
北方华创：成立于2001年 ， 主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务 ， 为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案 。
目前 ， 北方华创已形成刻蚀机、PVD、CVD、清洗设备、立式炉等多种产品布局 ， 已应用于数十种集成电路先进工艺制程中 ， 这些产品均在国内主流生产线上获得批量应用 。 与此同时 ， 公司在ICP领域深耕多年 ， 布局产品涉及多种关键制程工艺应用 。
上海微电装备：成立于2002年 ， 主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务 。 公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域 。
华海清科：成立于2013年 ， 是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略 ， 为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业 。
华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务 ， 核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才 ， 产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域 。
盛美半导体：于1998年在美国成立 ， 后于2006年设立盛美上海 ， 主要从事单晶片的湿式清洗设备的开发、生产和销售 ， 除清洗设备外 ， 公司还在中国销售定制晶圆级封装设备 。 目前 ， 国际上共有5家企业在生产单晶片清洗设备 ， 盛美是其中之一 ， 另外4家全是海外企业 ， 分别是Screen Semiconductor Solutions、Tokyo Electron、 Lam Research、SEMES 。
2019年12月30日 ， 盛美半导体上海临港研发及生产中心项目正式启动 。 盛美半导体设备（上海）股份有限公司是晶圆湿法清洗设备供应商 ， 盛美半导体设备研发及制造中心项目总投资 8.8 亿元 ， 预计于2020年开工 ， 2023年竣工 ， 开始试生产 。 2026年 ， 项目将达产130台 ， 销售额24亿元 。
芯源微：于2002年创立 ， 芯源微是国内涂胶显影设备龙头企业 ， 主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售 ， 主要产品有涂胶显影设备和单片湿法设备 。


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