十年磨一剑拟登科创板，70岁中国半导体老者靠研发突围？作者|李攸宁

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作者|李攸宁

来源|首席科创官

“它的复杂程度绝对不亚于两弹一星。 ”

尹志尧说这话时戴着白色帽子和口罩，仅根据眼神无法判断他的表情是否充满自豪。他这句话形容的是芯片刻蚀机的刻蚀尺寸要做到7纳米（发丝直径的万分之一）有多难。

如同雕刻师在木石上雕刻精美花纹一般，在小小的芯片上刻蚀机可以雕刻出无数条电路图形，而常人需要将芯片放大几百万倍才能看见。也正因此，衡量刻蚀机水平高低的是它的刻蚀尺寸能达到多么小的结构。

目前，全世界最领先且可以实现量产的最小结构是7纳米（iPhone8用的是10纳米工艺），国外有四家企业可以达到这一标准，分别是美国的泛林半导体、应用材料，日本的东京电子和日立。国内能做到如此微小结构的企业仅一家——中微半导体，尹志尧是它的创始人。

锋芒初现

事实上中微半导体成立不过14年光景。在此之前，全球半导体刻蚀设备被泛林半导体、应用材料、东京电子、日立等为数不多的几家巨头垄断。

中微半导体在刻蚀设备领域所出的成绩不仅打破了这一垄断，还打破了美国的《瓦森纳协议》中“限制对华出口蚀刻设备”这一持续几十年的管制。

这一切成就都起源于十四年前年过六旬的尹志尧所做的一个决定。

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