由于SF6气体具有优良的灭弧性能和绝缘性能以及良好的化学稳定性，它从20世纪50年代末开始被用作高压断路器的灭弧介质 。在超高压和特高压断路器中，SF6作为灭弧介质，已取代油，并已大量取代了压缩空气 。
从60年代中期起 ， SF6被广泛用作高压电气设备的绝缘介质 。SF6气体绝缘的全封闭开关设备比常规的敞开式高压配电装置占地面积小得多 ， 且其运行不受外界气象和环境条件的影响，因此不仅广泛用于超高压和特高压电力系统 ， 而且已开始用于配电网络(SF6气体绝缘的开关柜和环网供电单元) 。
SF6气体绝缘的管道输电线的优点是介质损耗小、传输容量大，且可用于高落差场合，因此常用于水电站出线，取代常规的充油电缆 。SF6气体绝缘的变压器具有防火防爆的优点 ， 这种配电变压器特别适用于人口稠密的地区和高层建筑的供电 。SF6气体绝缘的超高压变压器已研制成功，全气体绝缘变电所将是变电技术发展的一个方向 。
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