iVacuum真空聚焦|扩散泵使用中的注意事项( 二 )
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减少返油 ， 以下几点也很关键
使用安捷伦扩散泵 扩散泵工作的压力越高 ， 返油越严重 。 安捷伦扩散泵在刚刚开启高阀时（几帕到零点零几帕）的抽速较大 ， 会大幅减少该压力段的抽气时间 ， 从而减少总返油量 。
切勿让扩散泵处理超过其最大排气量的气载 每个扩散泵都有一个最大气载的参数 ， 扩散泵工作时处理的总气载不可以超过该数值 ， 否则将出现严重的返油 。
高阀开启压力有讲究 在高阀开启的瞬间 ， 原来由粗抽泵处理的气载将会切换至扩散泵处理 ， 假设高阀在系统气载等于扩散泵最大气载时开启 ， 通过公式Q=P*S就可以计算出开启压力；可以看出 ， 使用的粗抽泵抽速越大 ， 越需要在更低的压力开启扩散泵 。
排气阀门间歇关闭要不得当前级泵切换至腔体粗抽 ， 或者系统处于待机状态时 ， 不要直接关闭扩散泵排气口的阀门 ， 最好使用维持泵持续对扩散泵排气口进行抽气 ， 保持其压力低于扩散泵可承受的最大排气压力（一般为几十帕） 。
增配加强型的冷帽 当需要更低的返油率时 ， 可以增配加强型的冷帽 。 安捷伦提供可内置于扩散泵的加强型冷帽 ， 可以使返油率减少90%以上 ， 并且不增加泵的高度 。
原厂上门保养服务
安捷伦真空提供各型号安捷伦扩散泵的上门保养服务 ， 可以在客户现场进行扩散泵的故障排查、拆解、清洗、重新安装、换油等操作 ， 并可以根据不同客户的具体要求订制年度保养协议 ， 最大化的减少客户因为扩散泵故障造成的停机损失 。
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