21世纪经济报道杭州中欣晶圆:大晶圆里的“智造”秘密


2009年杭州提出将服务业打造成为“首位经济” , 十年后杭州再提出“新制造业计划” , 让数字经济与制造业并驾齐驱 , 成为拉动未来杭州城市经济发展的“双引擎” 。
如果说 , 杭州向西连绵的湿地丘陵孕育着以“一带、三城、多镇”为核心的城西科创大走廊 , 代表杭城科创研发的未来;那么杭州向东连片的平原腹地便是制造产业落地生根、开花结果的沃土 , 承载杭城新制造的崛起 。
犹如奔涌的钱塘江水 , 一路向东涌入浩瀚辽阔的杭州湾 。 杭州崛起的新制造 , 正迎着东方的朝阳不断蓄力 , 以拥抱更加开阔的国际舞台 。 (卢常乐)
跨过江东大道 , 江面的水雾散尽 , 杭州新制造的新世界在眼前打开 。 一座座静默如山的工厂、基地 , 如果不是亲自前往 , 你永远无法知道这样一座座“普通”的建筑下 , 藏着怎样的能量与未来 。
比如 , 在杭州中欣晶圆半导体股份有限公司的无尘车间里 , 8英寸的半导体晶圆每月可产出35万枚 。
切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光……在这里 , 一枚半导体晶圆的制造要经历十多道工序 。 跟所有的工作人员穿洁净鞋进出一样 , 21世纪经济报道采访人员也戴上了鞋套 , 试图探究薄薄的硅晶圆片蕴含着的技术秘密 。
21世纪经济报道杭州中欣晶圆:大晶圆里的“智造”秘密
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图/受访者提供
如果说芯片刻录是集成电路的一场华丽舞蹈 , 那么硅晶圆片便是承载它起舞的舞台 。 而杭州中欣晶圆则是舞台的搭建者 , 主要从事高品质集成电路用半导体硅晶圆片的研发与生产制造 。
2017年9月落地钱塘新区的中欣晶圆 , 填补了杭州集成电路产业制造环节的短板 , 也是目前国内规模最大的半导体大晶圆片生产商 。
近三年来 , 杭州中欣晶圆相继突破8英寸、12英寸的大晶圆生产 。 当下 , 在集成电路产业于全国遍地开花的浪潮中 , 中欣晶圆还将在杭州这片土地上创造更多奇迹 , 迈向更高目标 , 推动杭州集成电路产业进一步发展 。
瞄准大晶圆的生产机遇 在这个信息化高度发达的时代 , 由晶圆制成的芯片可谓是智能产品的“心脏” 。 小到太阳能电池、传感器 , 大到智能家电、无人汽车都可见它的身影 。
而作为基底材料 , 硅晶圆对于信息化产业的发展有着重要的作用 , 尤其是大晶圆大芯片 , 更是相关产业高质量发展的重要支撑 。
“中国市场对大尺寸半导体晶圆的需求量是很大的 , 但国内现在只能满足4-6英寸的晶圆片 , 8英寸以及高端的12英寸大晶圆片自主供应能力弱 , 主要依赖进口 。 ”杭州中欣晶圆总经理郭建岳在接受21世纪经济报道采访人员采访时介绍道 。
而杭州中欣晶圆正是瞄准了这一市场 。
去年年底 , 杭州中欣晶圆宣布12英寸大晶圆试生产成功 , 这是继8英寸大晶圆片之后该公司取得的又一关键产能进度 。 填补了国内相关技术领域的空白 , 进一步充实了杭州半导体行业的整体技术实力 。
21世纪经济报道杭州中欣晶圆:大晶圆里的“智造”秘密
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图/受访者提供
当前 , 杭州中欣晶圆拥有年产1,260万枚硅晶圆的生产能力 , 其中8英寸产线已具备35万片的月产能 , 12英寸实现3万片月产能并将按原定计划于今年年底达到10万片月产能 , 这也将是国内12英寸晶圆规模化生产的一次突破 。 其将打破国外公司对半导体硅晶圆市场长期垄断的局面 , 大大缓解我国半导体大晶圆供应不足的短板 。
“杭州将成为我们重要的产业基地 , 作为我们的研发中心 , 进行大批量产品生产 , 推进特色工艺生产线项目建设 。 ”郭建岳说杭州中欣晶圆在公司的整体产业布局中 , 将成为核心组成部分之一 。
从全国布局来看 , 通过整合Ferrotec集团的半导体硅晶圆产业 , 杭州中欣晶圆将成为Ferrotec半导体硅晶圆的旗舰企业 , 形成以杭州工厂、上海工厂、银川工厂三地一体化的硅晶圆产业格局 。


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