先进制造技术论坛|芯片内部制造工艺详解



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芯片制造的整个过程包括芯片设计、芯片制造、封装制造、测试等 。 芯片制造过程特别复杂 。
首先是芯片设计 , 根据设计要求 , 生成“图案”
1、晶片材料
硅片的成分是硅 , 硅由石英砂精制而成 。 硅片经硅元素(99.999%)提纯后制成硅棒 , 成为制造集成电路的石英半导体材料 。 芯片是芯片制造所需的特定晶片 。 晶圆越薄 , 生产成本就越低 , 但对工艺的要求就越高 。
2、晶圆涂层
晶圆涂层可以抵抗氧化和温度 , 其材料是一种光致抗蚀剂 。
3、晶圆光刻显影、蚀刻
首先 , 在晶圆(或基板)表面涂覆一层光刻胶并干燥 。 干燥的晶片被转移到光刻机上 。 通过掩模 , 光将掩模上的图案投射到晶圆表面的光刻胶上 , 实现曝光和化学发光反应 。 曝光后的晶圆进行二次烘烤 , 即所谓曝光后烘烤 , 烘烤后的光化学反应更为充分 。
最后 , 显影剂被喷在晶圆表面的光刻胶上以形成曝光图案 。 显影后 , 掩模上的图案保留在光刻胶上 。 糊化、烘烤和显影都是在均质显影剂中完成的 , 曝光是在平版印刷机中完成的 。 均化显影机和光刻机一般都是在线操作 , 晶片通过机械手在各单元和机器之间传送 。
整个曝光显影系统是封闭的 , 晶片不直接暴露在周围环境中 , 以减少环境中有害成分对光刻胶和光化学反应的影响 。

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4、添加杂质
相应的 p 和 n 半导体是通过向晶圆中注入离子而形成的 。
具体工艺是从硅片上的裸露区域开始 , 将其放入化学离子混合物中 。 这个过程将改变掺杂区的传导模式 , 使每个晶体管都能打开、关闭或携带数据 。 一个简单的芯片只能使用一层 , 但一个复杂的芯片通常有许多层 。
此时 , 该过程连续重复 , 通过打开窗口可以连接不同的层 。 这与多层 pcb 的制造原理类似 。 更复杂的芯片可能需要多个二氧化硅层 。 此时 , 它是通过重复光刻和上述工艺来实现的 , 形成一个三维结构 。
5、晶圆
经过上述处理后 , 晶圆上形成点阵状晶粒 。 用针法测试了各晶粒的电学性能 。 一般来说 , 每个芯片都有大量的晶粒 , 组织一次 pin 测试模式是一个非常复杂的过程 , 这就要求尽可能批量生产相同规格型号的芯片 。 数量越大 , 相对成本就越低 , 这也是主流芯片设备成本低的一个因素 。 6、封装
同一片芯片芯可以有不同的封装形式 , 其原因是晶片固定 , 引脚捆绑 , 根据需要制作不同的封装形式 。 例如:DIP、QFP、PLCC、QFN 等 , 这主要取决于用户的应用习惯、应用环境、市场形态等外围因素 。
6、测试和包装
经过上述过程 , 芯片生产已经完成 。 这一步是测试芯片 , 去除有缺陷的产品 , 并包装 。
芯片中晶体管到底是个什么东西?
简而言之 , 晶体管就是个可变电阻 。
从英文上解释 , transistor(晶体管 )可以看作是 transfer(转移) - resistor(电阻器)的组合 , 它是一种调节电流或电压的装置 , 可以 开关 或放大信号 , 作为集成电路中的基本元素 , 集成电路由大量与电路互连的晶体管组成 。 最新的英特尔 CPU 中的晶体管就长下面这个样子:

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可能大家看的还是一脸懵逼 , 那打个简单比方 , 电流就像水的流量 , 电压就是水的压力 , 相同管径下 , 水压越大 , 水的流量也就越大 , 相同水压下 , 管径越小 , 水的流量就越小(注意是流量 , 不是流速 , 想想把水龙头开小和开大放一桶水需要的时间 , 显然开小时需要用时更多) 。


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