中国吉林网|国内首台12英寸晶圆探针台在长春研制成功
北京联盟_本文原题：国内首台12英寸晶圆探针台在长春研制成功
近日 ， 中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（光华微电子）宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台 。
本次研发成功的晶圆探针台产品 ， 是半导体行业重要的检测装备之一 ， 可将参数特性不符合要求的芯片记录下来 ， 在进入后序工序前予以剔除 ， 从而大幅度降低器件的制造成本 。
探针台技术门槛较高 ， 目前市场处于双强垄断态势 ， 东京电子和东京精密两家日本公司占据了绝大部分市场份额 。 我国在探针台研制方面已有多年技术积累 ， 产品以8英寸为主 ， 光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发 ， 先后突破了6项关键技术 。 今年 ， 光华微电子推出的第一代产品机将在上海展出 ， 并全面推向市场 。 （胡晓琼）
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