盛美差异化路线打开国内外市场不断突破


集微网消息 , 随着集成电路制程工艺节点越来越先进 , 对实际制造的几个环节也提出了新要求 , 清洗环节的重要性日益凸显 。 随着线宽微缩 , 晶圆制造的良率随着线宽缩小而下降 , 而提高良率的方式之一就是增加清洗工艺 , 在80-60nm制程中 , 清洗工艺大约100多个步骤 , 而到了20-10nm制程 , 清洗工艺上升到200多个步骤以上 。
盛美差异化路线打开国内外市场不断突破
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对于未来的先进产线而言 , 为了避免利润损失 , 增加清洗设备的数量是必然选择 。 众所周知 , 全球清洗设备呈现寡头垄断的格局 , 但是有一家来自中国的本土设备企业 , 凭借着差异化技术优势正逐渐在市场中崭露头角 , 甚至有望打破现有清洗设备市场格局 , 它便是盛美半导体 。
国产清洗设备市场机遇
近年来 , 在全球半导体产业重心持续向中国大陆转移的背景下 , 中国半导体设备企业也正迎来自己的“高光时刻” 。 据SEMI预计 , 2019-2020年韩国、中国大陆、中国台湾将分列世界前三大设备市场 , 2020年中国大陆有望升至全球最大设备市场 。
盛美差异化路线打开国内外市场不断突破
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盛美半导体设备(上海)股份有限公司董事长王晖
“这几年中国半导体产业的发展可以说是突飞猛进 。 尤其是在新建产线方面 , 包括长江存储、合肥长鑫、中芯国际、华虹华力都有多个晶圆厂正在扩建中 , 同时还有积塔半导体、士兰微、粤芯等也在新建产线中 , 所以我觉得现在国内的市场环境特别好 。 尤其是对于已经有十几年技术储备的盛美半导体来说 , 我们正赶上一个快速发展的好时期 。 ”盛美半导体设备(上海)股份有限公司董事长王晖博士在接受集微网采访人员采访时说道 。
实际上 , 除了全球半导体整体市场增长的带动 , 清洗机设备市场规模增长的驱动力 , 主要体现在技术进步的两个方面:一方面是随着芯片的制程逐渐缩小 , 清洗成为生产芯片过程中重复次数最多的步骤;另一方面是随着存储器从2D向3D转变 , 此时清洗效果不能仅仅停留在表面 , 还需要在无损情况下清洗内部聚合物残留、污染物及颗粒 。
根据TMR统计数据 , 预计2020年全球清洗机设备市场规模将达到35-40亿美元 , 2015-2020年的年均复合增速达6.8% 。 毫无疑问 , 国内的清洗设备市场必将面临更大的发展机会 。
正如王晖博士所说 , 国内设备企业一定要牢牢抓住中国半导体产业的发展机遇 , 不仅要将市场做大 , 也要将中国的半导体设备做强 , 不断提升自己的核心技术水平 , 同时保护好自身的知识产权 , 敢于用法律手段维护自身的知识产权 。
差异化路线打开市场
由于半导体设备行业具有高资本密集、高专利壁垒、初期高投入低回报的特点 , 使得新玩家很难切入其中 。 尤其是在全球清洗设备市场中 , 前三名日本Screen(迪恩士)、日本Tokyo Electron(东京电子)和美国Lam Research(泛林)合计占据着近80%的市场份额 。 此时 , 新玩家要想打破寡头垄断格局 , 必须要有独一无二差异化的技术和市场优势 。
为此 , 盛美半导体从一开始切入清洗设备市场便决定要走差异化路线 , 从而与国际厂商竞争 。 经过二十多年的技术储备 , 如今的盛美半导体已成长为国内清洗设备的“领头羊” , 公司研发团队先后开发出了SAPS、TEBO、Tahoe等全球领先的半导体清洗技术及设备 。
据王晖介绍 , 2009年 , 盛美半导体第一个兆声波清洗技术SAPS取得突破后 , 便进入SK海力士无锡生产线测试 , 而这也是国产设备第一次进入国际知名厂商;2015年 , 公司研发团队又开发出TEBO无损伤兆声波清洗技术;2018年 , 盛美半导体再下一城 , 发布了Tahoe高温硫酸清洗设备 。


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