「光刻机」国产光刻机迎来重大突破,清华教授打破ASML的垄断,跻身全球第二


「光刻机」国产光刻机迎来重大突破,清华教授打破ASML的垄断,跻身全球第二
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「光刻机」国产光刻机迎来重大突破,清华教授打破ASML的垄断,跻身全球第二
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「光刻机」国产光刻机迎来重大突破,清华教授打破ASML的垄断,跻身全球第二
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华为与美国摩擦的加重 , 让越来越多的人开始关注我国芯片领域 , 光刻机对芯片制造的重要性也被大众所知晓 。 当前 , 全球近9成的光刻机市场都被荷兰ASML所垄断 , 高精度光刻机成为阻碍我国芯片产业更进一步的一大阻碍 。 经过多年的发展 , 上海微电子终于在光刻机领域有所突破 。

而在光刻机核心子系统之一的光刻机工作台上 , 我国企业华卓精科更是打破ASML的垄断 。 据公开资料显示:华卓精科于2012年成立 , 由清华大学机械工程系教授朱煜带队 , 完成了中国光刻机工作台从0到1的突破 。 当前 , 华卓精科在光刻机双工作台领域 , 是我国第一家能自主研发并实现商业化生产的供应商 。
而且 , 华卓精科还是世界上唯二拥有双工台核心技术的企业 , 另一家便是ASML 。 对于中国光刻机工作台行业的发展 , 外界一直不看好 , 认为这一系统“太复杂” 。 但华卓精科却将不可能变为可能 , 彼时 , 华卓精科双工作台的核心——运动定位模块POMO的亮相 , 让众人振奋 。
前段时间 , 上海微电子传来将在2021年交付28nm沉浸式光刻机的消息 , 让人十分惊喜 。 而在上海微电子的背后 , 离不开华卓精科在背后的支撑 。 值得注意的是 , 华卓精科除在光刻机双工作台小有成就外 , 于超精密测控装备整机、关键部件等领域都已经具备从研发、生产到销售的能力 。
随着华卓精密实力的增强、产品的不断成熟 , 其营收也不断增长 。 在2017年 , 华卓精密营收为5410.22万元 , 而到去年 , 已经增长至1.2亿多元 , 几乎翻了一倍 。 同时 , 华卓精密的净利润同样有所增长 。 但是 , 华卓精密增长最为明显的 , 还是要数其在研发上的投入 。
2017年 , 华卓精密的研发投入还只有1663.65万元 , 而在次年 , 已经飙升至8256.56万元 。 而在2019年 , 这一数字更是增长至1.41亿元 , 甚至比营收还要高 。 从卓越精密对毫不吝啬的投入中 , 便能够看出其对研发重要性的认识 。
而在近期 , 华卓精密又传来好消息 。 在6月24日 , 上交所对华卓精科的科创板上市申请正式受理 , 结果将在不久后公布 。 如果 , 卓越精密能成功登陆 , 必然有利于其此后的发展 。
对于华卓精密 , 你怎么看呢?
【「光刻机」国产光刻机迎来重大突破,清华教授打破ASML的垄断,跻身全球第二】文/BU 审核/子扬 校正/知秋


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