##为华为打造无美系设备的产线 台积电三星能做到吗?( 二 )
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2、泛林集团
泛林集团又称拉姆研究 , 其产品主要包括刻蚀设备、薄膜沉积(Deposition—CVD/ECD/ALD)设备以及去光阻和清洗(Strip & Clean)、镀铜等设备 。
在刻蚀设备销售额(2017年)约占全球45%的市场份额 , 全球第一 , 其中导体刻蚀约占全球50%以上的市场份额 , 全球第一;介质刻蚀约占全球20%以上的市场份额 , 全球第二;CVD约占全球市场20%左右的市场份额 , 全球第三 。
泛林集团掌握着很多前沿技术 , 能够提供多种前沿产品 , 在薄膜沉积设备中使用的ALD技术是目前最先进的技术 , 其中 , ALTUS MaxE 系列采用业界首款低氟钨(LFW)ALD 工艺 , 与传统 CVD 的钨填充相比 , ALTUS Max E 系列产品工艺可使检测到的氟减少 100 倍、内应力降低 10 倍、薄膜电阻率降低 30% , 这一技术已连续领先行业 15 年 , 被视作钨原子层沉积的行业标杆 。
在刻蚀设备中 , 泛林集团掌握了目前硅刻蚀技术最先进的 ALE 技术 , 这种技术能够实现定向刻蚀或各向同行刻蚀 , 实现了业内最高选择比 , 可以达到原子级别的变化控制 , 据其专家介绍 ALE 是使某些集成工艺步骤能够在7nm和 5nm进行刻蚀的唯一方式 。
从营收来源来看 , 根据泛林集团的2018年的财报显示 , 来自韩国厂商的营收占比高达34.6% , 其次是日本占比17% , 中国大陆占比16.11% , 台湾占比12.62% 。
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3、科磊
科磊公司主要为半导体、数据存储、LED 及其他相关纳米电子产业提供前道工艺控制和良率管理的解决方案 。科磊自成立起便深耕于半导体前道量检测设备行业 , 目前其产品种类已经覆盖加工工艺环节的各类前道光学、电子束量检测设备 。
凭借其检测产品高效、精确的性能特点 , 科磊在半导体检测量测设备领域拥有绝对的龙头地位 。三星电子、台积电、Intel、中芯国际都是其客户 。
全球半导体前道检测设备领域主要企业有科磊、应用材料、日本日立、Nano、Nova 等等 。根据 2018 年 SEMI 数据 , 科磊占比高达52%、稳居行业第一 , 堪称半导体检测设备领域王者 , 其次是应用材料占比12% , 这两家美国厂商市占率合计达到64% 。
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从具体产品来看 , 科磊产品范围广泛 , 包括了缺陷检测、Overlay、CD 量测 , 膜厚等 , 应用材料主要是缺陷检测及复查、CD 量测等 , 日立主要为 CD-SEM 量测、缺陷检测等 。
4、泰瑞达
泰瑞达主要是针对于半导体、电子系统、无线设备等领域提供先进测试解决方案 , 可以确保产品按照设计标准运行 。主要是覆盖半导体后端测试设备 。
根据Gartner的数据显示 , 在全球半导体后端自动化测试设备市场 , 1994年之时 , 泰瑞达就占据了接近50%的市场 , 到2009年 , 其份额已进一步提升到了57%左右 。
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从泰瑞达的客户结构看 , 近几年 , 单一客户曾创造当年10%以上的收入的客户包括苹果公司、台积电等 。
根据泰瑞达年报 , 2016-2017年公司来自台积电的收入占比达到12%~13% 。而考虑直接采购、以及通过代工厂与封测厂间接采购 , 在2014-2016年某OEM客户收入占泰瑞达总收入的比重达到22%、23%、25% , 这其中包含了通过台积电、JA Mitsui Leasing公司的销售 。
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