『爱集微』从材料领域“将军”三星！台积电“3nm”团队曝光( 二 )
【『爱集微』从材料领域“将军”三星！台积电“3nm”团队曝光】这个意外的发现 ， 让实验团队开始把重心放在铜的生产上 ， 希望找出生产大面积单晶铜的方法 。 “我们那时找了很多不同的铜 ， 有溅镀的、有热蒸镀的、也有电子束蒸镀的 。 ”回忆当时 ， 李连忠直言是个大工程 ， 从台大、清大、交大找到欧洲镀铜厂 ， 只为找出最佳生产参数 。
陈则安描述当时 ， 每天就是“实验＋讨论”的循环 ， “早上做完一个实验 ， 下午李处长就会问现在怎么样？如果有新进展 ， 要有什麽样的新应对 。 ”直到2018年底逐渐完成单晶铜生产 。 而在单晶铜生产无虞后 ， 陈则安提到理论解释成了另一个难题 ， “因为实验结果 ， 与当时文献上的成长行为 ， 有很大的不同 。 ”
突破瓶颈的关键 ， 是台积电技术研究处技术副理褚志彪 ， 他解释 ， “随着实验参数的最佳化 ， 我们了解在较低温的范围 ， 氮化硼也能在铜（111）基板上单晶成长 。 ”靠着大量的实验与讨论 ， 终于让实验结果有了理论支持 。
若说这份研究有什么最引人注意的数据 ， 莫过于“电子移动速度”的改善 。
一般来说 ， 电子移动速度愈快 ， 代表电晶体性能愈好 。 李连忠透露 ， 在初期的实验上 ， 电子移动速度有两倍以上的提升 ， “但我们（台积电）有兴趣的是100倍（的速度提升） ， 希望速度愈快愈好 。 ”
研究最大亮点 ， 电子移动速度提升2倍
张文豪进一步解释 ， 电子移动速度提升有其难度 。 电晶体愈做愈小 ， “电子很难穿过几纳米的通道 。 ”如何通过有效的绝缘材料 ， 确保电子移动中 ， 不受上下层材料的干扰 ， 相当重要 。
这是台积电首次以产学合作登上《自然》期刊的研究 ， 业界与学术单位都相当关注 。 李连忠指出 ， 这项技术仍须持续发展 ， “我们目前是生产在两英寸（直径的）晶圆上 ， 台积电要用工程方法 ， 放大到12英寸晶圆上 。 ”
张文豪也提到 ， 要如何将大面积的氮化硼完整取下 ， 也是团队接下来要费心的地方 。 “全台湾 ， 从来没有过因为产学合作 ， 登上《自然》 。 ”张文豪说得淡然 ， 却也点出这项研究的可贵 。
褚志彪说 ， “整个研究的过程就像登山 ， 克服了重重的困难 ， 只为在山头一瞥日出的美景 。 ”虽然市场近年总是不断唱衰摩尔定律失效 ， 但台积电对基础研究的重视 ， 让台积电在一次次的技术革新中 ， 延续摩尔定律前行 。
（校对/Jurnan）
推荐阅读
![[腾讯科技]亚马逊仓库只进必需品，贷款缠身的卖家业务受损、岌岌可危](http://ttbs.guangsuss.com/image/5f41d7bbff536ef727029b8fdf70c7a9)
- 爱集微联发科在天玑1000系列集成AV1视频编解码器，与Google合作
- 爱集微欧洲这个城市每个5G基站补贴2.75万欧元，全球5G网络部署加速
- 镁客网镁客网每周硬科技领域投融资汇总（4.25-5.8）
- 阿里巴巴：继续扩大与对手差距 华为30天内在专利领域连取两次世界第一 阿里巴巴露锋芒
- 爱集微6月或有明显订单增量，智能手机Q2出货量同比降幅近30%
- 爱集微LED产线或将落地武汉，华引芯可量产小尺寸Mini
- 微生物▲前沿科技 | 中科院科学家在重金属污染土壤稳定化修复功能材料与技术研发方面取得进展
- 手机大魔王韩国各个领域几乎都有三星的影子，三星一年收入达到韩国GDP的1/4
- #任正非#马云再“预言”：未来十年造富“风口”改变，农村抓紧这3大领域
- 电子工程世界TB技术和法规领域的进步改善了消防安全，更安全的电缆选择