「军计策」买个设备为何这么难?,中芯国际购买荷兰ASML光刻机顺利入厂

3月6日 , 中芯国际公司向荷兰阿斯麦尔公司购买了一台大型光刻机 , 已顺利进入深圳厂区 , 据其他媒体报道 , 这台光刻机并不是EUV光刻机 。
中芯国际是中国内地规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业 , 平时主要的业务是根据客户本身或第三者的集成电路设计为客户制造集成电路芯片 , 是纯商业性集成电路代工厂 , 应对客户的需要提供0.35微米到28纳米制程工艺设计和制造服务 。
光刻机是芯片制造的核心设备之一 , 内部结构精密复杂 , 它在一定程度上决定着芯片的制程工艺 , 阿斯麦尔公司是全球最大的半导体设备制造商之一 , 为半导体生产商提供光刻机及相关服务 , 英特尔、三星、海力士、台积电等都向其购买光刻机 。
中芯国际表示光刻机用于复工制造 , 扩容生产后 , 全年估计可为企业增加10%左右的营收 , 2月19日中芯国际向美国泛林公司购买了6亿美元设备 , 中芯国际表示将继续扩大其产能、把握市场商机及增长 , 同时也表示 , 中芯国际已经构建相对完整的代工制造平台 , 相信芯片技术也会提上一个水平 。
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但中芯国际购买光刻机并非一直顺利 , 中芯国际早在2018年就花费1.2亿美金从阿斯麦尔公司预定了一台EUV的光刻机 , 在美国的施压下 , 2019年11月阿斯麦尔公司中止和中芯国际的7nm及以下的先进工艺EUV光刻机合作计划 。
有一项规定称 , 如果其他国家出口到中国的高科技产品中美国制造的零部件到达25%以上 , 美国政府有权阻止这项交易 , 在向中芯国际提供7nm及以下的EUV光刻机检测中 , 美国制造零件并没有达到25%以上 , 虽然没能直接阻止出售 , 但美国向荷兰提出 , 向中芯国际提供光刻机可能存在安全风险 , 到目前 , 也没有达到这项合作 。
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目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:阿斯麦尔、尼康和佳能 , 为什么不向其它两家购买呢?在中高端光刻机市场 , 阿斯麦尔占了大约60%的市场份额 。
尼康和佳能需要花费较高的投入研究金 , 而且开发技术难度高 , 两家公司基本处于放弃阶段 , 那阿斯麦尔自然占据了绝对的市场 。
「军计策」买个设备为何这么难?,中芯国际购买荷兰ASML光刻机顺利入厂
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【「军计策」买个设备为何这么难?,中芯国际购买荷兰ASML光刻机顺利入厂】虽然关键技术一直被阿斯麦尔公司垄断 , 但我们对中国中芯国际依然保持着信心 , 目前国内企业加大投入资金研究光刻机 , 有很大的进步空间 , 2018年11月 , 中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收 , 光刻分辨力达到22纳米 , 结合双重曝光技术后 , 未来还可用于制造10纳米级别的芯片 , 让中国企业不再受外国的限制 , 还要继续投入人才和资金 。


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