「公司」科创板早报|科技部明确磷酸氯喹治疗新冠肺炎具有疗效 至少53只科创基金排队领“准生证”( 二 )
【「公司」科创板早报|科技部明确磷酸氯喹治疗新冠肺炎具有疗效 至少53只科创基金排队领“准生证”】ASML正在研发NA 0.55的新一代EUV光刻机EXE:5000系列 ， 主要合作伙伴是卡尔蔡司、IMEC比利时微电子中心 。 新一代光刻机主要面向后3nm时代 ， 最快在2021年问世 。 不过首发为样机 ， 真正用于生产还需几年后 ， 乐观来看2023年或者2024年将看到NA 0.55的EXE:5000系列光刻机上市 。
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